[发明专利]镀膜件及其制备方法无效
| 申请号： | 201010612741.7 | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102560349A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;李聪 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜件及该镀膜件的制备方法。该镀膜件包括一基体、依次形成于该基体表面的氧化镁-氧化铝(MgO-Al2O3)的混合物层及抗指纹层，该抗指纹层为氟化镁铝氧(MgAlOxFy)层，其中0＜x＜2.5，0＜y＜5。一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：提供一基体；以镁铝合金靶为靶材，以氧气为反应气体，采用磁控溅射镀膜法在该基体的表面溅镀氧化镁-氧化铝(MgO-Al2O3)的混合物层；以镁铝合金靶为靶材，以氧气、四氟化碳气体为反应气体，采用磁控溅射镀膜法在该MgO-Al2O3的混合物层的表面制备一氟化镁铝氧(MgAlOxFy)层，其中0＜x＜2.5，0＜y＜5。该镀膜件具有良好的抗指纹功能。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种镀膜件，其包括一基体，其特征在于：该镀膜件还包括依次形成于基体表面的氧化镁‑氧化铝(MgO‑Al2O3)的混合物层及抗指纹层，该抗指纹层为氟化镁铝氧(MgAlOxFy)层，其中0＜x＜2.5，0＜y＜5。
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