[发明专利]镀膜件及其制备方法无效
申请号: | 201010612741.7 | 申请日: | 2010-12-29 |
公开(公告)号: | CN102560349A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;李聪 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/35 |
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地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种镀膜件及其制备方法,尤其涉及一种具有抗指纹功能的镀膜件及该镀膜件的制备方法。
背景技术
传统技术中,早期抗指纹化处理一般是采用在不锈钢的镀锌层上形成铬酸盐层及特殊的树脂层。该方法首先需要在不锈钢板上电镀一层锌,然后施以铬酸盐处理,最后以滚压的方式涂上一层树脂,其工艺繁锁,且需要使用铬酸盐处理,环境污染严重,成本较高。
因此,为避免污染,降低成本,人们开始研究新的抗指纹材料。目前工业上使用较多的是在基体上喷涂一层有机化学物质,如抗指纹涂料和抗指纹油等,通过加热干燥使其附着在基体上。但是这种涂层的制备工艺也较复杂,而且掺杂于抗指纹涂料和抗指纹油中的有些填料还存在游离甲醛等,不利于环保和人体健康。另外,这种有机涂层耐磨性能差,使用一段时间后容易磨损,使得基体被暴露出来,防腐蚀性能大幅下降且影响美观。此外,抗指纹油的使用会使涂层表面看起来很油腻,大大降低了视觉美感。
发明内容
鉴于此,有必要提供一种较为环保的、抗指纹性能佳且效果较为持久的镀膜件。
另外,还有必要提供一种上述镀膜件的制备方法。
一种镀膜件,其包括一基体、依次形成于该基体表面的氧化镁-氧化铝(MgO-Al2O3)的混合物层及抗指纹层,该抗指纹层为氟化镁铝氧(MgAlOxFy)层,其中0<x<2.5,0<y<5。
一种镀膜件的制备方法,其包括如下步骤:
提供一基体;
以镁铝合金靶为靶材,以氧气为反应气体,采用磁控溅射镀膜法在该基体的表面溅镀氧化镁-氧化铝(MgO-Al2O3)的混合物层;
以镁铝合金靶为靶材,以氧气、四氟化碳气体为反应气体,采用磁控溅射镀膜法在该MgO-Al2O3的混合物层的表面制备一氟化镁铝氧(MgAlOxFy)层,其中0<x<2.5,0<y<5。
相较于现有技术,所述的镀膜件采用磁控溅射镀膜的方法形成一氟化镁铝氧(MgAlOxFy)的抗指纹层,得以实现较佳的抗指纹功能;通过于基体上形成MgO-Al2O3的混合物层后再通入四氟化碳气体以沉积MgAlOxFy的抗指纹层,可避免四氟化碳气体对基体的腐蚀。另外,所述的抗指纹层以磁控溅射镀膜的方法形成,相较于传统的抗指纹材料,其具有较好的耐磨性,可防止所述抗指纹层被磨损,使得所述的镀膜件的抗指纹功能更持久,外观上也更具有美感。另外,所述镀膜件及其制备方法较为环保。
附图说明
图1是本发明较佳实施方式的镀膜件的剖视示意图。
图2是本发明较佳实施方式的镀膜件的扫描电镜图。
图3是本发明较佳实施方式的磁控溅射镀膜机的俯视示意图。
主要元件符号说明
镀膜件 10
基体 11
MgO-Al2O3的混合物层 13
抗指纹层 15
磁控溅射镀膜机 20
镀膜室 21
镁铝合金靶 23
具体实施方式
请参阅图1,本发明一较佳实施方式的镀膜件10包括基体11、依次形成于基体11上的氧化镁-氧化铝(MgO-Al2O3)的混合物层13及抗指纹层15。
基体11的材质可为金属或非金属,该金属材料可包括不锈钢、铝、铝合金、铜、铜合金、锌等。该非金属材料可包括陶瓷、玻璃等。
MgO-Al2O3的混合物层13可以磁控溅射镀膜法形成,如中频磁控溅射镀膜法。该MgO-Al2O3的混合物层13为纳米级的非晶态结构,其厚度为500-600nm。
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