[发明专利]监测报警处理方法、装置及等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201010610650.X | 申请日： | 2010-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102566475A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 高建强 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种监测报警处理方法、装置及等离子体加工设备，该监测报警处理方法包括：根据容忍时间和监测周期获取容忍次数，所述容忍时间对应工艺过程的某一连续时间段；根据所述监测周期获取被监测参数的监测值；判断每次所获取的所述监测值是否在预设的正常值范围内，若否，则异常次数加1；若是，则异常次数清零；判断所述工艺过程的某一连续时间段内所累计的异常次数是否大于等于所述容忍次数，若是，则执行安全动作，并抛出告警信号。本发明监测报警处理方法只有在质量流量控制器输入管路中的气体压力值的异常次数连续达到容忍次数时，才执行安全动作以及抛出告警信号，因此，其抗干扰能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 报警 处理 方法 装置 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种监测报警处理方法，其特征在于，包括以下步骤：根据容忍时间和监测周期获取容忍次数，所述容忍时间对应工艺过程的某一连续时间段；根据所述监测周期获取被监测参数的监测值；判断每次所获取的所述监测值是否在预设的正常值范围内，若否，则异常次数加1；若是，则异常次数清零；判断所述工艺过程的某一连续时间段内所累计的异常次数是否大于等于所述容忍次数，若是，则执行安全动作，并抛出告警信号。
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