[发明专利]监测报警处理方法、装置及等离子体加工设备

说明书

技术领域

本发明属于等离子体加工设备领域，涉及一种监测报警处理方法、装置及等离子体加工设备。

背景技术

在利用等离子体加工设备加工半导体、太阳能电池片等产品的过程中，常需要借助气体供给系统向反应腔室输入相应的工艺气体。通常，气体供给系统包括气源、调压阀(Regulator)、压力传输器(PT，Pressure Transmitter)以及质量流量控制器(MFC，Mass Flow Controller)。气源、调压阀、质量流量控制器以及反应腔室通过气体管路依次连接。压力传输器用于监测质量流量控制器输入端管路中的气体压力值，并将监测到的表示气体压力值的压力信号发送至调压阀，调压阀依据该压力信号调节质量流量控制器输入端管路中的气体压力。

上述气体供给系统在应用过程中，当质量流量控制器输入管路中的气体压力小于5Psig(磅/平方英寸)或者大于35Psig时，即，质量流量控制器输入管路中的气体压力出现欠压或过冲现象时，质量流量控制器将无法正常运行，而且，严重时还会损坏质量流量控制器。为此，在等离子体加工设备的系统软件中设有监控线程，用于接收来自压力传输器的压力值，并依据该压力值来判断质量流量控制器输入端的气体压力是否在允许的范围内，若否，则监控线程执行安全动作，同时抛出告警信号，以通知维护人员对设备进行维护。

图1为监控线程的工作流程图。请参阅图1，在启动等离子体加工设备的系统软件后，监控线程的具体工作流程如下：

步骤s1，开始监控线程；

步骤s2，获取由压力传输器监测到的质量流量控制器输入端管路中的气体压力值；

步骤s3，判断步骤s2中获取的气体压力值是否在监控线程中预设的正常气体压力范围内，若是，则继续执行步骤s2；若否，则执行步骤s4；

步骤s4，监控线程执行安全动作，同时抛出告警信号，以通知维护人员对设备进行维护。

在步骤s2中，当压力传输器与监控线程所在设备之间的通信信号受到干扰时或者质量流量控制器输入端管路中气体压力出现波动时，监控线程将获取错误的气体压力值，从而导致监控线程错误地抛出告警信号，这不仅对工艺过程产生不利影响，降低等离子体设备运行的稳定性，而且将增加维护人员的工作量。另外，上述监控线程在系统软件启动后即开始工作，即对质量流量控制器输入端的气体压力进行监控，因此，即使等离子体加工设备处于非工艺状态，监控线程也可能抛出告警信号，维护人员不得不对设备进行维护，增加维护人员的工作量。

发明内容

本发明要解决的技术问题就是针对监控线程中存在的上述缺陷，提供一种监测报警处理方法及装置，其可以提高监测报警处理装置的抗干扰能力，从而避免输出错误的监控信息。

此外，本发明还提供一种等离子体加工设备，该等离子体加工设备中的监控线程的抗干扰能力强，不仅可以提高等离子体加工设备的稳定性，而且可以降低维护人员的工作量。

解决上述技术问题的所采用的技术方案是提供一种监测报警处理方法，包括以下步骤：

根据容忍时间和监测周期获取容忍次数，所述容忍时间对应工艺过程的某一连续时间段；

根据所述监测周期获取被监测参数的监测值；

判断每次所获取的所述监测值是否在预设的正常值范围内，若否，则异常次数加1；若是，则异常次数清零；

判断所述工艺过程的某一连续时间段内所累计的异常次数是否大于等于所述容忍次数，若是，则执行安全动作，并抛出告警信号。

其中，监测报警处理方法还包括：

若所述工艺过程的某一连续时间段内所累计的异常次数小于所述容忍次数，则判断工艺过程是否结束，若否，则继续获取所述被监测参数的监测值。

其中，所述容忍次数为所述容忍时间内所包含的所述监测周期的次数。

其中，所述监测值为气体压力值。

此外，本发明还提供一种监测报警处理装置，包括设置单元、监测单元、第一判断单元、第二判断单元、计数器以及执行单元，其中，

设置单元，用于根据容忍时间和监测周期获取容忍次数，所述容忍时间对应工艺过程的某一连续时间段；

监测单元，用于根据所述监测周期获取被监测参数的监测值；

第一判断单元，用于判断每次所获取的所述监测值是否在预设的正常值范围内，若否，则将累加信号传输至所述计数器；若是，则将清零信号传输至所述计数器；

计数器，用于根据来自所述第一判断单元的累加信号或清零信号，并执行相应地累加操作或清零操作；