[发明专利]监测报警处理方法、装置及等离子体加工设备

权利要求书

1.一种监测报警处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

根据容忍时间和监测周期获取容忍次数，所述容忍时间对应工艺过程的某一连续时间段；

根据所述监测周期获取被监测参数的监测值；

判断每次所获取的所述监测值是否在预设的正常值范围内，若否，则异常次数加1；若是，则异常次数清零；

判断所述工艺过程的某一连续时间段内所累计的异常次数是否大于等于所述容忍次数，若是，则执行安全动作，并抛出告警信号。

2.根据权利要求1所述的监测报警处理方法，其特征在于，还包括：

若所述工艺过程的某一连续时间段内所累计的异常次数小于所述容忍次数，则判断工艺过程是否结束，若否，则继续获取所述被监测参数的监测值。

3.根据权利要求1所述的监测报警处理方法，其特征在于，所述容忍次数为所述容忍时间内所包含的所述监测周期的次数。

4.根据权利要求1所述的监测报警处理方法，其特征在于，所述监测值为气体压力值。

5.一种监测报警处理装置，其特征在于，包括设置单元、监测单元、第一判断单元、第二判断单元、计数器以及执行单元，其中，

设置单元，用于根据容忍时间和监测周期获取容忍次数，所述容忍时间对应工艺过程的某一连续时间段；

监测单元，用于根据所述监测周期获取被监测参数的监测值；

第一判断单元，用于判断每次所获取的所述监测值是否在预设的正常值范围内，若否，则将累加信号传输至所述计数器；若是，则将清零信号传输至所述计数器；

计数器，用于根据来自所述第一判断单元的累加信号或清零信号，并执行相应地累加操作或清零操作；

第二判断单元，用于判断所述工艺过程的某一连续时间段内所述计数器所累计的异常次数是否大于预设的容忍次数，若是，则向所述执行单元发送执行信号；

执行单元，用于根据所述第二判断单元所发送的执行信号执行安全动作，并抛出告警信号。

6.根据权利要求5所述的监测报警处理装置，其特征在于，还包括第三判断单元，用于若所述第二判断单元判断所述工艺过程的某一连续时间段内所累计的异常次数小于所述容忍次数，则判断工艺过程是否结束，若否，则继续获取所述被监测参数的监测值。

7.根据权利要求5所述的监测报警处理装置，其特征在于，在所述设置单元中，所述容忍次数为所述容忍时间内所包含的所述监测周期的次数。

8.根据权利要求5所述的监测报警处理装置，其特征在于，监测单元为压力传输器。

9.一种等离子体加工装置，包括气源、调压阀、质量流量控制器以及监测报警处理装置，所述调压阀的输入端与所述气源连接，其输出端与所述质量流量控制器的输入端连接，所述监测报警处理装置用于监控所述调压阀的输出端与所述质量流量控制器的输入端之间的气体压力是否正常，其特征在于，所述监测报警处理装置采用权利要求5-8任意一项所述监测报警处理装置。