[发明专利]晶体生长炉无效
| 申请号: | 201010603512.9 | 申请日: | 2010-12-20 |
| 公开(公告)号: | CN102534809A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
| 发明(设计)人: | 于旭东;盛建明 | 申请(专利权)人: | 江西同人电子材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;熊须远 |
| 地址: | 335000 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种晶体生长炉,包括炉底、炉体和炉盖,炉底与炉体之间,以及炉盖与炉体之间以可拆卸方式连接形成炉腔,其中,炉腔内具有坩埚、对坩埚中原料加热的发热体,构成发热体的发热部为围绕坩埚设置的金属网。通过本发明能够改善现有技术中蓝宝石晶体生长的热系统,提高蓝宝石晶体的生长质量。 | ||
| 搜索关键词: | 晶体生长 | ||
【主权项】:
一种晶体生长炉,包括炉底(14)、炉体(15)和炉盖(9),其特征在于:所述炉底(14)与炉体(15)之间,以及所述炉盖(9)与炉体(15)之间均以可拆卸方式连接形成炉腔,其中,所述炉腔内具有坩埚(7)、对所述坩埚(7)中原料加热的发热体,构成所述发热体的发热部(6)为围绕所述坩埚(7)设置的金属网。
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