[发明专利]晶体生长炉无效
| 申请号： | 201010603512.9 | 申请日： | 2010-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN102534809A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 于旭东;盛建明 | 申请（专利权）人： | 江西同人电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;熊须远 |
| 地址： | 335000 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体生长 | ||
1.一种晶体生长炉，包括炉底(14)、炉体(15)和炉盖(9)，其特征在于：
所述炉底(14)与炉体(15)之间，以及所述炉盖(9)与炉体(15)之间均以可拆卸方式连接形成炉腔，
其中，所述炉腔内具有坩埚(7)、对所述坩埚(7)中原料加热的发热体，构成所述发热体的发热部(6)为围绕所述坩埚(7)设置的金属网。
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，编制所述金属网的金属丝为直径0.3mm的钨丝。
3.根据权利要求1-2任一项所述的晶体生长炉，其特征在于，所述炉腔中还具有：
保温屏，在所述炉体(15)与所述金属网之间，围绕所述金属网并与所述炉体(15)同轴设置；
隔热屏，包括位于所述坩埚(7)下方的下隔热屏(3)、位于所述坩埚(7)的坩埚盖(13)上方的上隔热屏(11)；
其中，所述保温屏为金属片(12)与高温陶瓷(2)相间的层状叠加结构，所述金属片(12)、高温陶瓷(2)沿着所述炉体(15)从内向外的径向方向依次设置。
4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述金属片由钨片和/或钼片构成。
5.根据权利要求4所述的晶体生长炉，其特征在于，所述坩埚(7)的材质为钨钼合金，其组分为30％的钨和70％的钼。
6.根据权利要求5所述的晶体生长炉，其特征在于，所述坩埚(7)的底部具有支撑所述坩埚底部的钼管(5)和钨棒(4)，所述钨棒(4)套设于所述钼管(5)中并支撑于所述坩埚(7)的底部中心位置处，
其中，所述钨棒(4)的直径为30mm，所述钼管(5)的外径为所述坩埚(7)的外径的2/3～3/4。
7.根据权利要求6所述的晶体生长炉，其特征在于，所述炉底(14)与所述炉体(15)之间，以及所述炉盖(9)与所述炉体(15)之间的连接部位以紫铜密封圈(1)密封。
8.根据权利要求7所述的晶体生长炉，其特征在于，所述炉底(14)具有构成螺旋形冷却循环水路的循环水导流板(21)，所述炉底(14)的材质为厚度40mm的不锈钢。
9.根据权利要求8所述的晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉还包括铜电极(8)，所述发热部(6)具有与所述铜电极(8)螺纹连接的钨丝网发热电极(17)。
10.根据权利要求9所述的晶体生长炉，其特征在于，所述的晶体生长炉为蓝宝石晶体生长炉。
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