[发明专利]薄膜沉积装置及制造有机发光显示设备的方法有效
| 申请号： | 201010599753.0 | 申请日： | 2010-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102148234A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 池昶恂;金兑承;李钟禹;安成国 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/32 | 分类号： | H01L27/32;H01L51/56;H01L51/50;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 罗正云;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本公开提供一种薄膜沉积装置及制造有机发光显示设备的方法。所述薄膜沉积装置可以去除基板与掩膜之间产生的静电，并且所述方法用于利用该薄膜沉积装置制造有机发光显示设备。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 装置 制造 有机 发光 显示 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜沉积装置，包括：用于支撑基板的支撑体；面对所述基板的表面布置的掩膜；以及去除所述基板与所述掩膜之间产生的静电的静电去除器。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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