[发明专利]薄膜沉积装置及制造有机发光显示设备的方法

权利要求书

1.一种薄膜沉积装置，包括：

用于支撑基板的支撑体；

面对所述基板的表面布置的掩膜；以及

去除所述基板与所述掩膜之间产生的静电的静电去除器。

2.根据权利要求1所述的薄膜沉积装置，其中所述静电去除器通过向所述掩膜供应电流而去除静电。

3.根据权利要求2所述的薄膜沉积装置，其中所述静电去除器以预定频率向所述掩膜供应所述电流。

4.根据权利要求2所述的薄膜沉积装置，其中所述静电去除器包括：

用于向所述掩膜供应电流的电源；

用于调整所述电流的量的电阻器；以及

连接至所述电源、所述电阻器和所述掩膜以形成闭合电路的电线。

5.根据权利要求2所述的方法，其中所述静电去除器在预定时间量内向所述掩膜供应所述电流。

6.一种制造有机发光显示设备的方法，所述有机发光显示设备包括形成在基板上的彼此面对的第一电极和第二电极以及布置在所述第一电极与所述第二电极之间的有机层，所述方法包括：

将所述基板布置在腔室中；

对掩膜进行定位以便面对所述基板的表面；

通过所述掩膜在所述基板上沉积所述有机层；

去除所述掩膜与所述基板之间产生的静电；并且

将所述掩膜与所述基板分离。

7.根据权利要求6所述的制造有机发光显示设备的方法，其中去除静电包括向所述掩膜供应电流。

8.根据权利要求7所述的制造有机发光显示设备的方法，其中所述电流以预定频率被供应给所述掩膜。

9.根据权利要求7所述的制造有机发光显示设备的方法，其中所述电流通过在所述掩膜、用于向所述掩膜供应所述电流的电源以及用于调整所述电流的量的电阻器之间形成的闭合电路被供应给所述掩膜。

10.根据权利要求7所述的制造有机发光显示设备的方法，其中所述电流在预定时间量内被供应给所述掩膜。

11.根据权利要求7所述的制造有机发光显示设备的方法，其中向所述掩膜供应电流包括交替地在第一预定时间量内向所述掩膜供应所述电流，并且在第二预定时间量内不向所述掩膜供应所述电流。