[发明专利]氮化硅材料和氮化硅材料制成的隔热盘罩的制备方法无效
申请号: | 201010589513.2 | 申请日: | 2010-12-15 |
公开(公告)号: | CN102531612A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 茹敏朝;徐鹏;张伟儒;喻显扬 | 申请(专利权)人: | 北京中材人工晶体研究院有限公司 |
主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584;C04B35/622 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 100018 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种氮化硅材料和氮化硅材料制成的隔热盘罩的制备方法,所述氮化硅材料由以下重量百分比的各原料组成:氮化硅65~87.5%、纳米氮化硅5~15%、烧结助剂8~15%、碳化钨0.5~5%;所述氮化硅材料制成的隔热盘罩的制备方法,包括以下步骤:按上述重量百分比称取氮化硅、纳米氮化硅、烧结助剂和碳化钨,球磨混合均匀;将混料干燥制成基料;压制成型后,得到筒状素坯;在车床上加工成适当尺寸;将加工好的素坯放入烧结炉内,充入氮气烧结;停止加热,降温,于常压,打开炉门,自然冷却,得到毛坯;将毛坯在磨床上进行端面加工,即得成品。 | ||
搜索关键词: | 氮化 材料 制成 隔热 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种氮化硅材料,其特征在于,所述氮化硅材料由以下重量百分比的各原料组成:氮化硅65~87.5%、纳米氮化硅5~15%、烧结助剂5~15%和碳化钨0.5~5%。
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