[发明专利]一种激光刻蚀缺陷的修复方法及装置

摘要

本发明公布了一种薄膜太阳电池制造中激光刻蚀缺陷的修复方法及装置，属于半导体制造领域。该方法包括未刻断的导电玻璃单元，在两个未刻断的单元之间施加一直流电压，所述的直流电压为30—40伏，施加的时长为1—5秒。该装置包括置放经刻蚀的导电玻璃平台，在平台上方与刻蚀线同向设置有横杆，在横杆上绝缘设置有上下往复运动装置，至少两个金属触头和与上下往复运动装置绝缘连接，金属触头的另一端分别与直流电源的正负极输出相连接，本装置能够有效避免单元间细微的连接，提高生产效率。

主权项

一种激光刻蚀缺陷的修复方法，包括未刻断的导电玻璃单元，其特征在于：在两个未刻断的单元之间施加一直流电压。