[发明专利]一种激光刻蚀缺陷的修复方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光刻蚀缺陷的修复方法及装置，特别涉及一种薄膜太阳电池制造中激光刻蚀缺陷的修复方法及装置，属于半导体制造领域。

背景技术

随着化石能源的日益消耗，人类在不断的寻找可替代的能源，特别是可再生能源更是当今研究和发展的一个热点。太阳电池作为一种绿色能源，在过去的几十年取得了长足的进展，按其种类可分为晶硅电池、薄膜电池、燃料敏化电池等。其中非晶硅薄膜太阳电池由于其消耗原料少、环境友好、弱光效应好、能量回收期短、易于大面积制造等优点被业界看好未来，非晶硅薄膜太阳电池生产的主要原材料是大面积导电玻璃和气体，为了获得良好的发电和输出效果，通常需要将大面积导电玻璃通过激光刻蚀的方法分割为多个电池单元，每个单元的宽度根据输出的需要设定，一般在10毫米左右，以目前广泛使用的1.4×1.1m²的导电玻璃为例，需要沿玻璃纵向刻蚀线条数在100条以上，激光刻蚀是依靠激光的能量瞬间被特定的膜层吸收，然后膜层发送升华气华，其本身需要比较洁净的环境和较高的精度，玻璃的局部不平整、沾污、空气中的灰尘等都能导致膜层不能有效的被刻蚀掉，从而导致两个相邻的单元不能被有效的分割，破坏单元化间的串联设计，造成电池的输出功率降低甚至废弃，导致生产效率的低下。

发明内容

本发明针对薄膜太阳电池生产中激光刻蚀导电玻璃存在的缺陷和问题，提供一种激光刻蚀缺陷的修复方法及装置。

本发明所提供的激光刻蚀缺陷的修复方法，包括未刻断的导电玻璃单元，在两个未刻断的单元之间施加一直流电压。所述的直流电压为5—100伏，所述的直流电压为5—60伏，所述的直流电压为30—40伏，施加电压的时长为0.1—10秒，施加电压的时长为1—5秒。

本发明所提供的一种激光刻蚀缺陷的修复装置，包括置放经刻蚀的导电玻璃平台，在平台上方与刻蚀线同向设置有横杆，在横杆上绝缘设置有上下往复运动装置，至少两个金属触头与上下往复运动装置绝缘连接，金属触头的另一端分别与直流电源的正负极输出相连接，两个金属触头和沿刻蚀线方向不在一条直线上，两个金属触头和与刻蚀线垂直方向的间距小于两个刻蚀单元的宽度，所述的上下往复运动装置为气缸，所述的上下往复运动装置为直线电机，在与刻蚀线垂直的平台的两边分别设置导轨，横梁与导轨之间沿水平方向滑动连接。

本方法和装置能够有效的烧断激光刻蚀过程中存在的细微的连接点，实现刻蚀单元之间的有效绝缘，有效的利用了原材料，提高了生产效率和效益。

附图说明

附图1是本发明装置的示意图。

具体实施方式

如附图1所示，在平台1的两个边设置导轨6和7，横梁2与导轨6和7滑动连接，滑动连接可以在通过在导轨6、7上设置滑槽以及在横梁2上设置与之相配合的滑块来实现，也可以采用其它方式，在横梁2上固定设置一垂直方向运动的气缸，在气缸上的运动轴上固定绝缘连接金属触头3和4，金属触头3和4的另一端分别与直流电源5的输出端正负极相连接，金属触头3和4沿刻蚀线方向不在一条直线上，金属触头3和4与刻蚀线垂直方向的间距小于两个刻蚀单元的宽度。本发明中，气缸可以用直线电极来替代，为实现良好的修复效果，可以设置多个金属触头，直流电源5可以为可调直流电源。

本发明的工作过程为：给气缸通气，气缸带动金属触头3和4向下和向上运动，金属触头3和4分别接触和离开相邻的两个单元，实现在两个单元之间施加电压的目的，施加电压的时长可以通过控制气缸来实现。

本发明的方法实施例：

采用测量电阻的方法找出激光刻蚀未刻断的导电玻璃，将其导置于平台1上，通过移动横梁2将金属触头3和4分别置于相互导电的两个单元上方，将直流电源的电压设置在100伏以下，优选的设置在60伏以下，最好为30至40伏，给气缸通气，金属触头3和4分别接触两个单元，由于两个单元之间有细微的连接，在两个单元之间将有电流通过，大的电流会导致这种细微的连接瞬间熔断，实现相互两个单元之间的绝缘。施加电压的时长在10秒以下，一般5秒以下即可，可以通过增加电压和延长时长来优化修复工艺，可以通过横杆2和导轨6和7之间的滑动连接来移动横杆2的位置，对导电玻璃不同位置的单元进行修复。

在详细说明本发明的实施方式之后，熟悉该项技术人士可清楚地了解，在不脱离上述申请专利范围与精神下可进行各种变化与修改，凡依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均属于本发明技术方案的范围，且本发明亦不受限于说明书中所举实例的实施方式。