[发明专利]一种激光刻蚀缺陷的修复方法及装置

权利要求书

1.一种激光刻蚀缺陷的修复方法，包括未刻断的导电玻璃单元，其特征在于：在两个未刻断的单元之间施加一直流电压。

2.根据权利要求1所述的一种激光刻蚀缺陷的修复方法，其特征在于： 所述的直流电压为5—100伏。

3.根据权利要求1所述的一种激光刻蚀缺陷的修复方法，其特征在于：所述的直流电压为5—60伏。

4.根据权利要求1所述的一种激光刻蚀缺陷的修复方法，其特征在于：所述的直流电压为30—40伏。

5.根据权利要求1所述的一种激光刻蚀缺陷的修复方法，其特征在于：施加电压的时长为0.1—10秒。

6.根据权利要求1所述的一种激光刻蚀缺陷的修复方法，其特征在于：施加电压的时长为1—5秒。

7.一种激光刻蚀缺陷的修复装置，包括置放经刻蚀的导电玻璃平台（1），在平台（1）上方与刻蚀线同向设置有横杆（2），其特征在于：在横杆（2）上绝缘设置有上下往复运动装置，至少两个金属触头（3）和（4）与上下往复运动装置绝缘连接，金属触头（3）和（4）的另一端分别与直流电源（5）的正负极输出相连接，两个金属触头（3）和（4）沿刻蚀线方向不在一条直线上，两个金属触头（3）和（4）与刻蚀线垂直方向的间距小于两个刻蚀单元的宽度。

8.根据权利要求7所述的一种激光刻蚀缺陷的修复装置，其特征在于：所述的上下往复运动装置为气缸。

9.根据权利要求7所述的一种激光刻蚀缺陷的修复装置，其特征在于：所述的上下往复运动装置为直线电机。

10.根据权利要求7所述的一种激光刻蚀缺陷的修复装置，其特征在于：在与刻蚀线垂直的平台的两边分别设置导轨（6）和（7），横梁（2）与导轨（6）和（7）之间沿水平方向滑动连接。