[发明专利]一种改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法

摘要

本发明公开了一种改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法，其步骤包括：(1)将硅片放于扩散炉中，炉内各区温度均升至700～780℃，炉内环境为均匀的氮气气氛，氮气流量8L/min～30L/min；(2)待温度稳定后，同时通入携磷源气体0.8L/min～2L/min，及干氧0.4L/min～2.5L/min，且保证炉内气体环境均匀，扩散10～40分钟；(3)停止通入携磷源气体源和干氧，同步均匀提升炉内各区温度，升温速率＜5℃/min，升温至810～900℃，扩散10～40分钟；(4)降温出舟。本发明通过均匀的炉内气体及一致的炉内温度，使电池片制备中的磷扩散均匀性得到提高，一定程度上提升了太阳能电池的转换效率。

主权项

一种改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法，其步骤包括：(1)将待处理硅片放于扩散炉中，炉内各区温度均升至700～780℃，各温区温差＜5℃，炉内环境为均匀的氮气气氛，氮气流量8L/min～30L/min；(2)待温度稳定后，同时通入携磷源气体，流量为0.8L/min～2L/min，及干氧，流量为0.4L/min～2.5L/min，且保证炉内气体环境均匀，扩散10～40分钟；(3)停止通入携磷源气体源和干氧，同步均匀提升炉内各区温度，升温速率＜5℃/min，升温至810～900℃，各温区温差＜5℃，扩散10～40分钟；(4)降温出舟，完成扩散过程。