[发明专利]一种改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法有效
| 申请号： | 201010508102.6 | 申请日： | 2010-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102005502A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 党继东;黄清;辛国军;章灵军 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯(中国)投资有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 太阳能电池 扩散 均匀 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法，其步骤包括：
(1)将待处理硅片放于扩散炉中，炉内各区温度均升至700～780℃，各温区温差＜5℃，炉内环境为均匀的氮气气氛，氮气流量8L/min～30L/min；
(2)待温度稳定后，同时通入携磷源气体，流量为0.8L/min～2L/min，及干氧，流量为0.4L/min～2.5L/min，且保证炉内气体环境均匀，扩散10～40分钟；
(3)停止通入携磷源气体源和干氧，同步均匀提升炉内各区温度，升温速率＜5℃/min，升温至810～900℃，各温区温差＜5℃，扩散10～40分钟；
(4)降温出舟，完成扩散过程。
2.根据权利要求1所述的改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法，其特征在于：所述步骤(1)中氮气流量为8L/min～20L/min。
3.根据权利要求1所述的改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法，其特征在于：所述步骤(2)中携磷源气体流量为0.8L/min～1.8L/min，同时通入干氧流量为0.6L/min～2L/min，进行扩散。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
