[发明专利]半导体结构有效
申请号: | 201010299252.0 | 申请日: | 2010-09-29 |
公开(公告)号: | CN102437184A | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 叶秋显;吴俊元;简金城 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种半导体结构,包含有基底、栅极结构、源/漏极区域、凹槽以及外延层。基底包含上表面。栅极结构位于基底的上表面上。源/漏极区域位于栅极结构侧边的基底中。凹槽位于源/漏极区域中。外延层填满凹槽,且外延层的截面形状为八边形。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 | ||
【主权项】:
一种半导体结构,包含有:基底,包含上表面;栅极结构,位于该上表面上;至少一源/漏极区域,位于该栅极结构侧边的该基底中;凹槽,位于该源/漏极区域中;以及外延层,填满该凹槽,且该外延层的截面形状为八边形。
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