[发明专利]研磨垫用修整部件及研磨垫的修整方法无效
| 申请号： | 201010293621.5 | 申请日： | 2010-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102407491A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 久保岳;木村宏 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B55/12 | 分类号： | B24B55/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫用修整部件及研磨垫的修整方法，所述修整部件能够高效率有效地对贴合多个小尺寸研磨垫而构成的研磨垫进行修整。修整部件的底板为矩形，电沉积金刚石磨粒而形成的磨粒固定部以在底板的对角线上朝向底板的中心变细的方式形成。使修整部件和研磨垫相对旋转的同时进行公转，将修整部件按压在研磨垫上，从而研磨垫与磨粒固定部的接触时间在研磨垫的整个面上是相等的，因此能够均匀地对研磨垫的整个面进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 修整 部件 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨垫用修整部件，在底板上具有固定磨粒而形成的磨粒固定部，其特征在于，所述磨粒固定部位于经过所述底板的中心的直线上，且呈朝向所述底板的中心变细的楔形形状，以所述磨粒固定部的轮廓线上的一部分位于所述底板的中心点上的方式设置有多个所述磨粒固定部。
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