[发明专利]研磨垫用修整部件及研磨垫的修整方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种研磨垫用修整部件，涉及用于对研磨玻璃板、特别是研磨显示器用玻璃基板的研磨装置的研磨垫(研磨部件)的形状进行修整(最佳化)的修整部件及研磨垫的修整方法。

背景技术

作为液晶显示器等平板显示器用的薄板玻璃基板的制造方法的一种，使用称为浮法的成形法的制造方法广为人知。该制造方法是如下方法：通过所述浮法将熔融玻璃成形为板状，其后，由研磨装置研磨并去除玻璃板表面的微小的凹凸及起伏，从而形成厚度为0.5～1.1mm的薄板状。

近年来，平板显示器用薄板玻璃基板随着显示器的大屏幕化，也正在制造一边超过2000mm那样的大型的玻璃基板。

但是，本发明申请人在专利文献1中提出一种以大型的平板显示器用薄板玻璃基板为对象的研磨装置。该研磨装置为，向安装有用于吸附保持基板的吸附片的膜体与安装该膜体的托架之间供给加压流体，利用加压流体的压力将吸附保持在吸附片上的基板按压在研磨平台的研磨垫上进行研磨。

一般来说，在这种研磨装置中，对于使用前的研磨垫及将规定片数的玻璃基板研磨后的研磨垫，为了去除其表面存在的微小起伏等凹凸，实施使用砂轮(修整部件)的修整处理(形状修整处理)。

另外，研磨一边超过2000mm的大型玻璃基板的研磨垫，不能一体构成(一个垫)。因此，通过将多个小尺寸的研磨垫贴合在研磨平台上而形成大面积的研磨垫。但是，通过贴合多个研磨垫而产生的各研磨垫间的边界的台阶差部对玻璃基板的品质有恶劣影响，因此上述研磨垫的台阶差部也必须通过修整部件来研磨去除。

上述的修整部件通过在与玻璃基板的形状相对应的矩形的底板(金属片)的整个面固定(电沉积)金刚石磨粒而构成。将该修整部件安装在研磨装置的托架上，并且使上述托架旋转及公转，一边使研磨平台旋转或摆动，一边将修整部件按压在圆形的研磨垫上，由此，对研磨垫进行修整。

专利文献1：日本特开2004-122351号公报

但是，在底板的整个面电沉积了金刚石磨粒的现有方式的上述修整部件中，存在将研磨垫的台阶差部全部研磨去除时的研磨垫的总研磨量多于需要以上的问题。如此一来，研磨垫的总研磨量较多时，修整处理就需要较长时间，并且发泡聚氨基甲酸乙酯制的高价的研磨垫的使用寿命变短。

修整部件对研磨垫的研磨量与研磨垫和修整部件的接触时间成比例。例如，在整个面电沉积了金刚石磨粒的现有修整部件的情况下，修整部件的中央部总是与研磨垫接触。因此，研磨垫的中央部分因相对性的旋转(自转)及公转运动而总是被研磨。另一方面，研磨垫的周部在相对性公转运动时，由于与修整部件的接触是间歇性的，因此不能总是被研磨。其结果，通过修整处理，研磨垫中央部比周部研磨得较多。

其次，贴合小尺寸的研磨垫而构成的大面积的研磨垫的情况下，研磨垫中央部存在的台阶差部即使已被研磨去除，研磨垫周部的台阶差部也难以如前所述那样被去除，因此，要继续进行修整处理。其结果，为了研磨研磨垫周部的台阶差部，就要对研磨垫的中央部过度研磨。因此，就产生了在研磨去除研磨垫的全部台阶差部时的研磨垫的总研磨量增多，研磨垫的寿命变短之类的问题。

另外，对于现有修整部件，由于金刚石磨粒电沉积在底板的整个面上，因此价钱非常高。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的在于提供一种能够高效率有效地对贴合多个小尺寸研磨垫而构成的研磨垫(研磨部件)进行修整的修整部件及使用该修整部件的研磨垫的修整方法。

为了达成上述目的，本发明提供一种研磨垫用修整部件，在底板上具有固定磨粒而形成的磨粒固定部，其特征在于，上述磨粒固定部位于经过上述底板的中心的直线上，且呈朝向上述底板的中心变细的楔形形状，以上述磨粒固定部的轮廓线上的一部分位于上述底板的中心点上的方式设置有多个所述磨粒固定部。

另外，上述修整部件优选上述底板为矩形，上述磨粒固定部位于上述底板的对角线上，且呈朝向上述底板的中心变细的楔形形状，夹着所述底板的中心点至少配置有一对所述磨粒固定部。

根据这样构成的修整部件，通过使该修整部件旋转及公转并将其按压在研磨垫上，减小在研磨垫的整个面上的研磨垫与磨粒的接触时间的差。因此，能够均匀地对研磨垫的整个面进行研磨，能够防止研磨垫中央部的过度研磨。因此，本发明即使是贴合多个小尺寸研磨垫而构成的研磨垫，即贴合多个且在贴合部分具有台阶差的研磨垫，也能够高效率有效地进行修整。

另外，本发明的修整部件优选，上述底板通过接合多个小尺寸的平板而构成。