[发明专利]研磨垫用修整部件及研磨垫的修整方法无效
| 申请号： | 201010293621.5 | 申请日： | 2010-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102407491A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 久保岳;木村宏 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B55/12 | 分类号： | B24B55/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 修整 部件 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨垫用修整部件，在底板上具有固定磨粒而形成的磨粒固定部，其特征在于，
所述磨粒固定部位于经过所述底板的中心的直线上，且呈朝向所述底板的中心变细的楔形形状，
以所述磨粒固定部的轮廓线上的一部分位于所述底板的中心点上的方式设置有多个所述磨粒固定部。
2.如权利要求1所述的研磨垫用修整部件，其特征在于，
所述底板为矩形，
所述磨粒固定部位于所述底板的对角线上，且呈朝向所述底板的中心变细的楔形形状，夹着所述底板的中心点至少配置有一对所述磨粒固定部。
3.如权利要求1或2所述的研磨垫用修整部件，其特征在于，所述底板通过接合多个平板而构成。
4.一种研磨垫的修整方法，其特征在于，使用权利要求1～3中任一项所述的研磨垫用修整部件，在使该修整部件旋转及公转的同时将该修整部件按压在研磨垫上，对该研磨垫的形状进行修整。
5.如权利要求4所述的研磨垫的修整方法，其特征在于，将所述修整部件在吸附保持于玻璃基板用的吸附片上的状态下按压在研磨垫上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭硝子株式会社，未经旭硝子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010293621.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
