[发明专利]玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板有效
| 申请号： | 201010287381.8 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102019579A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 木村宏;池田训仁展;山口龙 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B51/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板，能够提高玻璃基板的研磨精度。该研磨装置具备：驱动上平台(40)的电动机、驱动下平台(30)的电动机、驱动设于下平台(30)的内周的内侧的太阳齿轮的电动机、驱动设于下平台(30)的外周的外侧的内啮合齿轮的电动机、以及控制这些电动机的控制部(90)，控制部(90)通过控制这些电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨，其特征在于，控制部(90)基于这些电动机的驱动所需的电力或者电力量调整玻璃基板的研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 制造 方法 研磨 装置 以及 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的制造方法，包含通过设于研磨装置的电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨的研磨工序，其特征在于，基于所述电动机的驱动所需的电力或者电力量，进行对在所述研磨工序中进行的所述玻璃基板的研磨进行控制的控制动作。
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