[发明专利]玻璃基板的制造方法、研磨方法及研磨装置以及玻璃基板

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，包含通过设于研磨装置的电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨的研磨工序，其特征在于，

基于所述电动机的驱动所需的电力或者电力量，进行对在所述研磨工序中进行的所述玻璃基板的研磨进行控制的控制动作。

2.如权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中，基于所述电力或者电力量在所述电动机的驱动中进行所述控制动作。

3.如权利要求1或者2所述的玻璃基板的制造方法，其中，

对于所述电动机，预先求出根据所述电力或者电力量而变化的第一变量和根据所述玻璃基板的研磨量而变化第二变量之间的相关关系，

所述控制动作为根据求出的所述相关关系调整所述玻璃基板的研磨量的调整动作。

4.如权利要求3所述的玻璃基板的制造方法，其中，

所述第一变量为用所述电动机的驱动时间去除所述电力量所得的值即平均电力值，

所述第二变量为研磨速度乘以所述玻璃基板的片数所得到的乘积值，其中，所述研磨速度是用所述电动机的驱动时间去除所述玻璃基板的研磨量而得到的值，

所述相关关系是通过求出表示所述平均电力值和所述乘积值之间关系的回归式的系数而特定的、所述玻璃基板的研磨量和所述电力量及所述电动机的驱动时间之间的关系式，

所述调整动作为下述驱动动作：

在所述电动机的驱动中将所述电力量及所述电动机的驱动时间依次代入所述关系式，驱动所述电动机直至根据所述关系式导出的所述玻璃基板的研磨量达到规定的目标值。

5.如权利要求1～4中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述研磨工序包含于具备形状加工工序、端面研磨工序和清洗工序的制造工艺中。

6.如权利要求5所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述制造工艺中含有化学强化工序。

7.如权利要求1～6中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述玻璃基板为磁记录介质用玻璃基板。

8.一种玻璃基板的研磨方法，通过设于研磨装置的电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨，其特征在于，

基于所述电动机的驱动所需的电力或者电力量调整所述玻璃基板的研磨量。

9.如权利要求8所述的玻璃基板的研磨方法，其中，基于所述电力或者电力量在所述电动机的驱动中调整所述玻璃基板的研磨量。

10.如权利要求8或者9所述的玻璃基板的研磨方法，其中，

对于所述电动机，预先求出根据所述电力或者电力量而变化的第一变量和根据所述玻璃基板的研磨量而变化的第二变量之间的相关关系，

根据求出的所述相关关系调整所述玻璃基板的研磨量。

11.如权利要求10所述的玻璃基板的研磨方法，其中，

所述第一变量为用所述电动机的驱动时间去除所述电力量得到的值即平均电力值，

所述第二变量为研磨速度乘以所述玻璃基板的片数所得到的乘积值，其中，所述研磨速度是用所述电动机的驱动时间去除所述玻璃基板的研磨量而得到的值。

所述相关关系是通过求出表示所述平均电力值和所述乘积值之间关系的回归式的系数而特定的、所述玻璃基板的研磨量和所述电力量及所述电动机的驱动时间之间的关系式，

在所述电动机的驱动中将所述电力量及所述电动机的驱动时间依次代入所述关系式，驱动所述电动机直至根据所述关系式导出的所述玻璃基板的研磨量达到规定的目标值。

12.如权利要求8～11中任一项所述的玻璃基板的研磨方法，其中，所述玻璃基板为磁记录介质用玻璃基板。

13.一种玻璃基板，其中，通过权利要求8～12中任一项所述的玻璃基板的研磨方法研磨而成。

14.一种研磨装置，具备：

电动机；及

控制所述电动机的控制部，

所述控制部通过控制所述电动机的驱动而对玻璃基板进行研磨，

其特征在于，

所述控制部基于所述电动机的驱动所需的电力或者电力量进行控制所述玻璃基板的研磨的控制动作。

15.如权利要求14所述的研磨装置，其中，基于所述电力或者电力量在所述电动机的驱动中进行所述控制动作。