[发明专利]顶板的校平机构以及探针装置无效
| 申请号： | 201010285599.X | 申请日： | 2010-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102023237A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 秋山收司;雨宫浩;松崎孝一;田中完尔 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供顶板的校平机构以及探针装置，能抑制半导体晶片等被检查体与探针卡电接触时的顶板的位置偏离，能进行可靠性高的检查。本发明的校平机构(20)，包括：一对升降机构(14)，其设置在用左右两端部将顶板(11)的后端部支撑的第一支撑柱(12)的上端，且在左右两侧分别单独地使顶板(11)的后端部升降；轴机构(16)，其固定于被一对第二支撑柱(13)架设的支撑体(15)的中央，且能沿左右方向摆动地轴支撑顶板(11)的前端部；和位置限制机构(19)，其分别设置在顶板(11)的前端部和一对第二支撑柱(12)的上端面，且限制顶板(11)的水平方向上的位置偏离。 | ||
| 搜索关键词： | 顶板 机构 以及 探针 装置 | ||
【主权项】：
一种顶板的校平机构，其特征在于，用于调整上述顶板的水平度，上述顶板的校平机构包括：保持探针卡的顶板；用后端部的左右两侧支撑上述顶板的一对第一支撑柱；用前端部的左右两侧支撑上述顶板的一对第二支撑柱；一对升降机构，其设在上述第一支撑柱的上端，且在左右两侧分别单独地使上述顶板的后端部升降；和轴机构，其被固定于被上述一对第二支撑柱架设的支撑体的中央，且能沿左右方向摆动地轴支撑上述顶板的前端部，在上述顶板的前端部和上述一对第二支撑柱的上端面分别设置有限制上述顶板的水平方向上的位置偏离的位置限制机构。
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