[发明专利]顶板的校平机构以及探针装置

权利要求书

1.一种顶板的校平机构，其特征在于，用于调整上述顶板的水平度，上述顶板的校平机构包括：保持探针卡的顶板；用后端部的左右两侧支撑上述顶板的一对第一支撑柱；用前端部的左右两侧支撑上述顶板的一对第二支撑柱；一对升降机构，其设在上述第一支撑柱的上端，且在左右两侧分别单独地使上述顶板的后端部升降；和轴机构，其被固定于被上述一对第二支撑柱架设的支撑体的中央，且能沿左右方向摆动地轴支撑上述顶板的前端部，

在上述顶板的前端部和上述一对第二支撑柱的上端面分别设置有限制上述顶板的水平方向上的位置偏离的位置限制机构。

2.如权利要求1所述的顶板的校平机构，其特征在于，上述位置限制机构包括：倒圆锥状的第一凹部，其形成于上述第二支撑柱上；第二凹部，其与上述第一凹部对应地形成在上述顶板的前端部；和球体，介于上述第一、第二凹部之间设置，且使上述顶板的前端部和上述一对第二支撑柱的上端面之间形成间隙。

3.如权利要求1或2所述的顶板的校平机构，其特征在于，上述第一凹部设在固定于上述第二支撑柱的上端面的第一承受件上，并且上述第二凹部设在固定于上述顶板的第二承受件上。

4.一种探针装置，其特征在于，包括：载置被检查体的能移动的载置台；保持配置于上述载置台上方的探针卡的顶板；用后端部的左右两侧支撑上述顶板的一对第一支撑柱；用前端部的左右两侧支撑上述顶板的一对第二支撑柱；和调整上述顶板的水平度的顶板的校平机构，上述校平机构包括：一对升降机构，其设在上述第一支撑柱的上端，且在左右两侧分别单独地使上述顶板的后端部升降；和轴机构，其固定于被上述一对第二支撑柱架设的支撑体的中央，且能沿左右方向摆动地轴支撑上述顶板前端部，

在上述顶板的前端部和上述一对第二支撑柱的上端面分别设置了限制上述顶板的水平方向上的位置偏离的位置限制机构。

5.如权利要求4所述的探针装置，其特征在于，上述位置限制机构包括：倒圆锥状的第一凹部，其形成于上述第二支撑柱上；第二凹部，其与上述第一凹部对应地形成在上述顶板的前端部；和球体，其介于上述第一、第二凹部之间设置，且使上述顶板的前端部和上述一对第二支撑柱的上端面之间形成间隙。

6.如权利要求4或5所述的探针装置，其特征在于，上述第一凹部设在固定于上述第二支撑柱的上端面的第一承受件上，并且上述第二凹部设在固定于上述顶板的第二承受件上。