[发明专利]层叠基板分离收容装置及玻璃基板的制造方法

摘要

本发明提供一种层叠基板分离收容装置及玻璃基板的制造方法，能够从玻璃基板层叠体高效且无损伤地分离、收容玻璃基板。层叠基板分离收容装置(10)构成为：从由多片圆盘状的玻璃构成的玻璃基板(20)重叠而成的玻璃基板层叠体(30)将玻璃基板(20)逐片分离而收容。层叠基板分离收容装置(10)在基底(12)上具有：层叠体收纳保持器(40)、基板收容盒体(50)、液槽(60)、保持器驱动部(70)、层叠基板定位部(80)、盒体驱动部(90)、盒体定位部(110)、基板推出机构(120)、基板接收机构(130)、控制装置(200)。控制装置(200)具有：基于预先储存在存储器的各控制程序进行各控制处理的保持器位置控制部(210)、盒体位置控制部(220)、基板推出控制部(230)、基板接收控制部(240)、层叠基板位置控制部(250)。

主权项

一种层叠基板分离收容装置，从由多片玻璃基板重叠而成的玻璃基板层叠体将所述玻璃基板逐片分离而收容，其特征在于，具有：层叠体收纳保持器，收纳所述玻璃基板层叠体；盒体，以单片方式收容从所述玻璃基板层叠体分离的所述玻璃基板；液槽，所述层叠体收纳保持器及所述盒体以沿垂直方向延伸的方向插入该液槽的液体中；层叠体驱动部，沿上下方向驱动所述层叠体收纳保持器；层叠基板定位部，对收纳于所述层叠体收纳保持器的所述玻璃基板层叠体的最上段的高度位置进行定位；盒体驱动部，沿上下方向驱动所述盒体；基板推出机构，将位于所述玻璃基板层叠体最上段的所述玻璃基板逐片从侧方推出而使所述玻璃基板分离且收容于所述盒体内；以及盒体位置控制部，控制所述盒体驱动部，以使所述盒体的未收容所述玻璃基板的收容部的高度位置达到由所述基板推出机构推出的所述玻璃基板的高度位置。