[发明专利]层叠基板分离收容装置及玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种层叠基板分离收容装置，从由多片玻璃基板重叠而成的玻璃基板层叠体将所述玻璃基板逐片分离而收容，其特征在于，具有：

层叠体收纳保持器，收纳所述玻璃基板层叠体；

盒体，以单片方式收容从所述玻璃基板层叠体分离的所述玻璃基板；

液槽，所述层叠体收纳保持器及所述盒体以沿垂直方向延伸的方向插入该液槽的液体中；

层叠体驱动部，沿上下方向驱动所述层叠体收纳保持器；

层叠基板定位部，对收纳于所述层叠体收纳保持器的所述玻璃基板层叠体的最上段的高度位置进行定位；

盒体驱动部，沿上下方向驱动所述盒体；

基板推出机构，将位于所述玻璃基板层叠体最上段的所述玻璃基板逐片从侧方推出而使所述玻璃基板分离且收容于所述盒体内；以及

盒体位置控制部，控制所述盒体驱动部，以使所述盒体的未收容所述玻璃基板的收容部的高度位置达到由所述基板推出机构推出的所述玻璃基板的高度位置。

2.如权利要求1所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，

所述基板推出机构具有：

推出工具，将所述玻璃基板层叠体最上段的玻璃基板沿半径方向推出而使所述玻璃基板逐片地向侧方滑动；以及

驱动部，在与所述玻璃基板的平面平行的方向上驱动该推出工具，其中，所述玻璃基板的平面相对于所述玻璃基板层叠体的层叠方向正交。

3.如权利要求1或2所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，在所述层叠体收纳保持器和所述盒体之间设置有摩擦分离工具，所述摩擦分离工具通过所述基板推出机构可靠地使所述玻璃基板逐片地从所述玻璃基板层叠体分离。

4.如权利要求1～3中任一项所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，具有基板接收机构，所述基板接收机构与所述基板推出机构的基板推出动作连动地接收从所述玻璃基板层叠体分离的玻璃基板，将该玻璃基板搬运到所述盒体的基板收容部。

5.如权利要求1～4中任一项所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，

所述层叠基板定位部具有：

层叠基板定位气缸，在前端具有与所述玻璃基板层叠体接触的层叠基板定位部件，使该层叠基板定位部件沿上下方向移动；

层叠基板定位传感器，检测该层叠基板定位气缸沿上下方向移动后的位置；以及

控制单元，根据来自所述层叠基板定位传感器的检测信号，驱动所述层叠体驱动部，直至所述玻璃基板层叠体最上段的玻璃基板达到规定高度位置。

6.如权利要求1～5中任一项所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，所述盒体位置控制部控制所述盒体驱动部，以使所述盒体的进行基板接收的收纳部的高度位置与位于所述层叠体收纳保持器最上段的所述玻璃基板的高度位置一致。

7.如权利要求4～6中任一项所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，

所述基板接收机构具有：

接收工具，载置通过所述基板推出机构的推出动作而从所述玻璃基板层叠体分离的玻璃基板；以及

驱动部，在与盒体内收纳的玻璃基板的主平面平行的方向上驱动该接收工具。

8.如权利要求2～7中任一项所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，所述推出工具由树脂成型而成，具有与所述玻璃基板的外周的至少两点接触的接触部的形状。

9.如权利要求1～8中任一项所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，所述层叠体收纳保持器以竖放的方式插入所述液槽内，至少将与所述玻璃基板接触的部分采用树脂材料形成。

10.如权利要求1～9中任一项所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，所述盒体以竖放的方式插入所述液槽内，且被成型为下述形状：在与所述层叠体收纳保持器相对向的一侧具有接收所述玻璃基板的基板插入口，且在与所述基板插入口相反的一侧具有供所述接收工具插入抽出的开口，所述盒体由树脂形成，或者至少将与所述玻璃基板接触的部分采用树脂材料形成。

11.如权利要求3～10中任一项所述的层叠基板分离收容装置，其特征在于，所述摩擦分离工具设置于搬运路径上，且以上表面成为引导所述玻璃基板搬运的导向面的方式由树脂成型而成，所述摩擦分离工具通过所述基板推出机构将位于所述玻璃基板层叠体最上段的所述玻璃基板逐片地从侧方推出而使所述玻璃基板分离，并在所述搬运路径上向所述盒体搬运。