[发明专利]层叠基板分离收容装置及玻璃基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种以层叠基板分离收容装置及玻璃基板的制造方法，所述层叠基板分离收容装置构成为从在面方向上重叠多片玻璃基板而成的玻璃基板层叠体将玻璃基板高效地分离而收容。

背景技术

例如，在制造圆盘状的玻璃基板的制造工序中，有对玻璃基板的平面及端面(内外周面)施行磨削、研磨等加工的加工工序，例如，作为提高玻璃基板的端面的研磨效率的方法，使用如下方法：形成将多片玻璃基板在面方向上重叠而成的玻璃基板层叠体，对多片玻璃基板的端面同时进行磨削、研磨。

当该玻璃基板层叠体的端面的加工结束时，在转移到对玻璃基板的平面部分进行磨削、研磨加工的工序之前，进行如下作业：从玻璃基板层叠体将玻璃基板逐片分离，将玻璃基板经由衬垫而层叠后，将紧贴于玻璃基板平面的衬垫剥离而仅将玻璃基板收容在规定的盒体内。将该玻璃基板从玻璃基板层叠体分离而收容在盒体内的工序，主要由操作人员手工进行。

但是，由于玻璃基板的平面彼此压接，因此人工操作的分离方式不能将玻璃基板逐片简单地分离，另外，在经由树脂制的衬垫层叠玻璃基板的情况下，存在为将紧贴于玻璃基板表面的衬垫剥离而要花费工时之类的问题。另外，在玻璃基板层叠体中，有如上所述在玻璃基板间介有衬垫而进行层叠的情况、和直接将玻璃基板层叠的情况(无衬垫)。

于是，目前，作为将玻璃基板逐片从玻璃基板层叠体分离而收容于规定的盒体内的方法，例如已提出如下方式：在将玻璃基板层叠体沉入水槽的液体中的状态下，通过真空吸附垫等工具吸附玻璃基板的上表面侧平面，将玻璃基板向上方剥下的分离方式(专利文献1)；具有把持玻璃基板的端面的多处(至少三处)的臂，一边使水流冲击玻璃基板一边使臂上升，将最上段的玻璃基板及衬垫从层叠体向上方剥下的分离方式(专利文献2～4)。

专利文献1：(日本)特开2008-302448号公报

专利文献2：(日本)特开2008-307612号公报

专利文献3：(日本)特开2009-48735号公报

专利文献4：(日本)特开2009-48688号公报

但是，上述专利文献1～4的装置中，对于使用真空吸附工具或把持玻璃基板的端面的保持工具进行分离的方式，由于玻璃基板层叠体的玻璃基板彼此在面方向上压接而牢固地吸附，因此存在如下问题：不仅不容易向上部方向剥下而分离而在分离作业中花费时间，而且会变为强制地将玻璃基板剥下，使其分离时工具施加在与玻璃基板接触的部分的负荷增大，在该玻璃基板的接触部容易产生损伤。

另外，现有方式中，除从玻璃基板层叠体将玻璃基板剥离的机构以外，还需要另外设置在玻璃基板间施加水压、或照射超声波、或使旋转的刷子与之接触、或使玻璃基板层叠体在水槽内振动的特殊机构，与之相应地，装置整体复杂化，制造成本上升。

发明内容

于是，鉴于上述情况，本发明的目的在于提供一种从玻璃基板层叠体将玻璃基板逐片高效地分离而解决上述课题的层叠基板分离收容装置及玻璃基板的制造方法。

为了解决上述课题，本发明具有如下的手段。

(1)本发明提供一种层叠基板分离收容装置，从由多片玻璃基板重叠而成的玻璃基板层叠体将所述玻璃基板逐片分离而收容，其特征在于，具有：

层叠体收纳保持器，收纳所述玻璃基板层叠体；

盒体，以单片方式收容从所述玻璃基板层叠体分离的所述玻璃基板；

液槽，所述层叠体收纳保持器及所述盒体以沿垂直方向延伸的方向插入该液槽的液体中；

层叠体驱动部，沿上下方向驱动所述层叠体收纳保持器；

层叠基板定位部，对收纳于所述层叠体收纳保持器的所述玻璃基板层叠体的最上段的高度位置进行定位；

盒体驱动部，沿上下方向驱动所述盒体；

基板推出机构，将位于所述玻璃基板层叠体最上段的所述玻璃基板逐片从侧面推出而使所述玻璃基板分离且收容于所述盒体内；以及

盒体位置控制部，控制所述盒体驱动部，以使所述盒体的未收容所述玻璃基板的收容部的高度位置达到由所述基板推出机构推出的所述玻璃基板的高度位置。

(2)本发明的所述基板推出机构的特征在于，具有：

推出工具，将所述玻璃基板层叠体最上段的玻璃基板沿半径方向推出而使所述玻璃基板逐片地向侧方滑动；以及

驱动部，在与所述玻璃基板的平面平行的方向上驱动该推出工具，其中，所述玻璃基板的平面相对于所述玻璃基板层叠体的层叠方向正交。