[发明专利]纳米结构热电材料、器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种纳米结构热电材料、器件及其制备方法。该热电材料包括绝缘衬底和纳米结构热电膜；纳米结构热电膜由纳米厚度的热电材料层和声子散射层构成。所述热电膜包括至少2层热电材料层和至少2层声子散射层，热电材料层和声子散射层交替覆盖。该热电材料可以是p型或n型，取决于热电层的载流子类型。将p型纳米结构热电材料和n型纳米结构热电材料的热电膜之间镀上连接电极，构成热电对；将多个热电对并联或串联得到热电器件。本发明的热电材料热稳定性好，纳米结构膜沉积效率高、热电转换效率高、成本低，及热电器件结构简单、容易制备，同时热电器件内阻低，在制冷/发热或温差发电等领域有较大实用价值。

主权项

一种纳米结构热电材料，其特征在于：该热电材料包括绝缘衬底和热电膜；所述热电膜包括至少2层热电层和至少2层声子散射层，热电层和声子散射层交替覆盖，最里侧的1层热电层覆盖在衬底上，所述热电层的厚度为1nm～200nm；所述声子散射层的厚度为1nm～100nm。