[发明专利]太阳能晶圆检测机台的间距调整系统及具有该系统的机台无效
申请号: | 201010256075.8 | 申请日: | 2010-08-18 |
公开(公告)号: | CN102375111A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 赖佳宏 | 申请(专利权)人: | 致茂电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 江崇玉 |
地址: | 215011 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种间距调整系统及具有该系统的太阳能晶圆检测机台,属于太阳能领域。由一道输送带输送太阳能晶圆,机台上设有表面及颜色检测的光学检测系统、及光照检测系统,对应检测位置还设有一夹持件,沿太阳能晶圆宽度方向由外往内导引夹制,使其在检测位置时不致歪斜,光照检测则需先移动探针组并接触导接至太阳能晶圆的导电总线,再施加光照至太阳能晶圆并将晶圆发电由探针导出,此外,还可透过调变装置改变夹持件的夹持间距及探针组的间距,用来顺应太阳能晶圆的不同尺寸,检测各晶圆特性并传至分类系统做为分类依据。 | ||
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【主权项】:
一种太阳能晶圆检测机台的间距调整系统,该检测机台用于检测多个不同宽度尺寸的太阳能晶圆,其特征在于,该太阳能晶圆具有一个收光面、及连接该收光面并用于将所接收光能转换为电能输出而彼此间距与宽度尺寸相关的导电总线,该检测机台包含一个移载该待测太阳能晶圆的移载系统、一组设置在对应该移载系统的至少一个影像撷取位置的光学检测系统、及一个设置在对应该移载系统的至少一个光照受测位置的光照检测系统,该间距调整系统包含:一组夹持件、用于当该移载系统承载的待测太阳能晶圆在该至少一个影像撷取位置及至少一个光照受测位置时,在上述宽度的方向被保持在预定位置的校准装置;及一个受测太阳能晶圆尺寸调变装置,包括:一组用于输入受测太阳能晶圆尺寸的输入界面;及一组依照该输入界面输入的受测太阳能晶圆尺寸驱动该校准装置改变上述夹持件的对应宽度、及导接电极间距的处理器。
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