[发明专利]太阳能晶圆检测机台的间距调整系统及具有该系统的机台无效

专利信息
申请号: 201010256075.8 申请日: 2010-08-18
公开(公告)号: CN102375111A 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 赖佳宏 申请(专利权)人: 致茂电子(苏州)有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 江崇玉
地址: 215011 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 太阳能 检测 机台 间距 调整 系统 具有
【权利要求书】:

1.一种太阳能晶圆检测机台的间距调整系统,该检测机台用于检测多个不同宽度尺寸的太阳能晶圆,其特征在于,该太阳能晶圆具有一个收光面、及连接该收光面并用于将所接收光能转换为电能输出而彼此间距与宽度尺寸相关的导电总线,该检测机台包含一个移载该待测太阳能晶圆的移载系统、一组设置在对应该移载系统的至少一个影像撷取位置的光学检测系统、及一个设置在对应该移载系统的至少一个光照受测位置的光照检测系统,该间距调整系统包含:

一组夹持件、用于当该移载系统承载的待测太阳能晶圆在该至少一个影像撷取位置及至少一个光照受测位置时,在上述宽度的方向被保持在预定位置的校准装置;及

一个受测太阳能晶圆尺寸调变装置,包括:

一组用于输入受测太阳能晶圆尺寸的输入界面;及

一组依照该输入界面输入的受测太阳能晶圆尺寸驱动该校准装置改变上述夹持件的对应宽度、及导接电极间距的处理器。

2.如权利要求1所述的间距调整系统,其特征在于,该间距调整系统还包含一组驱动导接装置,包括:

当该受测太阳能晶圆位于该至少一个光照受测位置时,对应该受测太阳能晶圆导电总线的导接电极;及

一组驱动该导接电极导接或去导接至该待测太阳能晶圆导接总线的驱动件。

3.如权利要求2所述的间距调整系统,其特征在于,该驱动件用来分别驱动导接电极在一个接触该等位上述光照受测位置的受测太阳能晶圆导电总线的接触位置、与一个远离该接触位置的待机位置间升降的机械臂。

4.如权利要求1、2或3所述的间距调整系统,其特征在于,该夹持件具有一个固定臂、及一个在上述宽度方向相对该固定臂移动的活动臂。

5.如权利要求1、2或3所述的间距调整系统,其特征在于,该固定臂及活动臂分别具有一个主体、及相向设置在该主体上的缓冲部。

6.一种具有间距调整系统的太阳能晶圆检测机台,用于检测多个不同宽度尺寸的太阳能晶圆,其特征在于,该太阳能晶圆具有一个收光面、及连接该收光面并用于将所接收光能转换为电能输出而彼此间距与宽度尺寸相关的导电总线,该检测机台包含:

一个基座;

一个在该基座上、移载该待测太阳能晶圆的移载系统;

一组设置在对应该移载系统的至少一个影像撷取位置的光学检测系统;

一个设置在对应该移载系统的至少一个光照受测位置的光照检测系统;及

一组间距调整系统,包含:

包括一组夹持件、用于当该移载系统承载的待测太阳能晶圆在该至少一个影像撷取位置及至少一个光照受测位置时,在上述宽度的方向被保持在预定位置的校准装置;

一组驱动导接装置,包括:

当该受测太阳能晶圆位于该至少一个光照受测位置时,对应该受测太阳能晶圆导电总线的导接电极;及

一组驱动该导接电极导接或去导接至该待测太阳能晶圆导接总线的驱动件;及

一个受测太阳能晶圆尺寸调变装置,包括:

一组用于输入受测太阳能晶圆尺寸的输入界面;

一组依照该输入界面输入的受测太阳能晶圆尺寸驱动该校准装置改变上述夹持件的对应宽度、及该导接电极间距的处理器。

7.如权利要求6所述的太阳能晶圆检测机台,其特征在于,该光学检测系统包括:

一组用来撷取该受测太阳能晶圆收光面影像的收光面检测器;

一组用来撷取该受测太阳能晶圆相反于该收光面的背面影像的背面检测器;及

一组对应该移载系统、并在该收光面检测器与该背面检测器间翻转该待测太阳能晶圆的翻转器。

8.如权利要求6或7所述的太阳能晶圆检测机台,其特征在于,该光学检测系统包括一个用来分辨该受测太阳能晶圆受光面色彩的分色检测器。

9.如权利要求6或7所述的太阳能晶圆检测机台,其特征在于,该夹持件具有一个固定臂、及一个在上述宽度方向相对该固定臂移动的活动臂,且该固定臂和活动臂分别具有一个主体及相向设置在该主体上的缓冲部。

10.如权利要求6或7所述的太阳能晶圆检测机台,其特征在于,该驱动件用来分别驱动导接电极在一个接触该等位上述光照受测位置的受测太阳能晶圆导电总线的接触位置、与一个远离该接触位置的待机位置间升降的机械臂。

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