[发明专利]MEMS振子及其制造方法有效
| 申请号： | 201010245785.0 | 申请日： | 2006-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101917175A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 稻叶正吾;佐藤彰 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是通过防止MEMS结构体部分的侧壁状的蚀刻残留物来提供可靠性高的MEMS振子及其制造方法。作为解决手段，本发明的MEMS振子包括：基板(10)；固定电极(12)，其形成于基板(10)上；以及可动电极(14)，其与固定电极(12)对置配置，通过作用于该可动电极(14)与固定电极(12)之间的缝隙(28)上的静电引力或静电斥力进行驱动，可动电极(14)在与固定电极(12)对置的可动电极(14)的支撑梁(24)的内侧面具有倾斜面(40)。 | ||
| 搜索关键词： | mems 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS振子，所述MEMS振子包括：基板；固定电极，其隔着绝缘膜形成于所述基板上；以及可动电极，其与所述固定电极对置配置，通过作用于该可动电极与所述固定电极之间的缝隙上的静电引力或静电斥力进行驱动，所述可动电极通过设置于该可动电极的端部的被固定部隔着所述绝缘膜设置在基板上而进行固定，且在与所述固定电极对置的所述可动电极的支撑梁的内侧面具有倾斜面。
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