[发明专利]晶圆盒的晶圆限制件

摘要

本发明在提供一种配置于晶圆盒内部的晶圆限制件，利用第一盒体与第二盒体的晶圆限制件来稳固晶圆片。使之固定且分隔开并减少不必要的摇晃与碰撞，避免晶圆片因摇晃或碰撞产生刮痕或破裂的情况，以减少不必要的成本并增加作业制成的清洁度。

主权项

一种配置有晶圆限制件的晶圆盒，包括：一第一盒体，具有一第一开口，于该第一盒体内与该第一开口相对的另一端上具有一第一内表面，并于该第一内表面上配置有至少一对第一卡勾；一第二盒体，具有一第二开口，于该第二盒体内与该第二开口相对的另一端上具有一第二内表面，该第二盒体用以与该第一盒体盖合以形成一容置空间；以及一第一晶圆限制件，卡固于该第一盒体的该第一内表面上，其中该第一晶圆限制件的特征在于：该第一晶圆限制件包括一对呈纵向且间隔地配置的翼部，一个形成于该对翼部之间的分隔部，且该分隔部与每一该翼部之间由多个呈横向且间隔排列的肋部连接成一体，每一该翼部上形成有多个间隔排列的勾洞，且每一该勾洞的位置分别与该第一内表面上的每一该第一卡勾相对应，通过每一该第一卡勾与每一该勾洞的接合，使该第一晶圆限制件卡固于该第一盒体的该第一内表面上，其中，分隔部上进一步配置有多个横向且间隔排列的脊部及凹部。