[发明专利]晶圆盒的晶圆限制件

权利要求书

1.一种配置有晶圆限制件的晶圆盒，包括：

一第一盒体，具有一第一开口，于该第一盒体内与该第一开口相对的另一端上具有一第一内表面，并于该第一内表面上配置有至少一对第一卡勾；

一第二盒体，具有一第二开口，于该第二盒体内与该第二开口相对的另一端上具有一第二内表面，该第二盒体用以与该第一盒体盖合以形成一容置空间；以及

一第一晶圆限制件，卡固于该第一盒体的该第一内表面上，其中该第一晶圆限制件的特征在于：

该第一晶圆限制件包括一对呈纵向且间隔地配置的翼部，一个形成于该对翼部之间的分隔部，且该分隔部与每一该翼部之间由多个呈横向且间隔排列的肋部连接成一体，每一该翼部上形成有多个间隔排列的勾洞，且每一该勾洞的位置分别与该第一内表面上的每一该第一卡勾相对应，通过每一该第一卡勾与每一该勾洞的接合，使该第一晶圆限制件卡固于该第一盒体的该第一内表面上，其中，分隔部上进一步配置有多个横向且间隔排列的脊部及凹部。

2.如权利要求1所述的晶圆盒，其进一步配置一密封环，该密封环安装于该第二盒体上。

3.如权利要求1所述的晶圆盒，其中该晶圆限制件的材质可为高分子材料。

4.如权利要求1所述的晶圆盒，其中该第一内表面的相对两侧边与每一该第一卡勾之间进一步配置有一对第三卡勾。

5.如权利要求4所述的晶圆盒，进一步包含有一晶舟盒固定元件，该晶舟盒固定元件以该第三卡勾卡固于该第一内表面上。

6.如权利要求5所述的晶圆盒，进一步包含一晶舟盒，该晶舟盒配置于该第一盒体与该第二盒体所形成的该容置空间中，并通过该晶舟盒固定元件固定。

7.如权利要求1所述的晶圆盒，其中该脊部由一第一斜边及一第二斜边所形成，且在该第一斜边及该第二斜边上配置有多个定位元件。

8.如权利要求7所述的晶圆盒，其中该些定位元件以该凹部为中心呈对称方式排列。

9.如权利要求7所述的晶圆盒，其中该些定位元件以该凹部为中心呈交错且间隔地方式排列。

10.如权利要求1所述的晶圆盒，其进一步于该第二盒体内的该第二内表面上配置有至少一对第二卡勾。

11.如权利要求10所述的晶圆盒，其进一步于将一第二晶圆限制件与该些第二卡勾卡固，其中该第二晶圆限制件包括：一对呈纵向且间隔地配置的翼部，一个形成于该对翼部之间的分隔部，且该分隔部与每一该翼部之间由多个呈横向且间隔排列的肋部连接成一体，每一该翼部上形成有多个间隔排列的勾洞，且每一该勾洞的位置分别与该第二内表面上的每一该第二卡勾相对应，通过每一该第二卡勾与每一该勾洞的接合，使该第二晶圆限制件卡固于该第二盒体的该第二内表面上，其中，该分隔部上进一步配置有多个横向且间隔排列的脊部及凹部。