[发明专利]除泡装置及除泡方法无效
| 申请号： | 201010231005.7 | 申请日： | 2010-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102335525A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 兆星科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/02 | 分类号： | B01D19/02 |
| 代理公司： | 北京市中联创和知识产权代理有限公司 11364 | 代理人： | 刘春生;张松林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种除泡装置，其用于半导体、光电产业或其它产业涂布工艺中会产生气泡的化学液，包括：一壳体、至少两下隔板及至少一上隔板。该壳体相对的两侧分别设有一输入孔及一输出孔，该壳体的顶部设有至少一回流孔，该输入孔、该输出孔及该回流孔贯通该壳体的内、外部。该两下隔板设于壳体内的底壁，该上隔板设于壳体内的顶壁，该上隔板及该两下隔板交错设置；借此，可用于去除气泡，回收利用化学液。本发明还提供一种除泡方法。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种除泡装置，其用于半导体、光电产业或其它产业涂布工艺中会产生气泡的化学液，其特征在于，包括：一壳体，其相对的两侧分别设有一输入孔及一输出孔，该壳体的顶部设有至少一回流孔，该输入孔、该输出孔及该回流孔贯通该壳体的内、外部；至少两下隔板，其设于该壳体内的底壁；以及至少一上隔板，其设于该壳体内的顶壁，该上隔板及该两下隔板交错设置。
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