[发明专利]一种半导体及其制造方法无效
申请号: | 201010222449.4 | 申请日: | 2010-07-05 |
公开(公告)号: | CN102315263A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 黄胤富;锺淼钧;连士进 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种具有提高崩溃电压及特定导通电阻的侧向式双重扩散的金属-氧化层-半导体。设置于结构内并环绕轻掺杂区的P场域提高崩溃电压并维持在特定的低导通电阻。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体结构,包含:一第一导电型的一衬底;一外延层,形成于该衬底上方;一第二导电型的一第一阱区,形成于该外延层中;该第二导电型的一第二阱区,形成于该外延层中并与该第一阱区隔开;该第一导电型的一第三阱区,形成于该第一阱区与该第二阱区之间;该第一导电型的一场区,形成于该第三阱区的一表面中,并与该第一阱区及该第二阱区隔开;以及该第一导电型的一漏极区,形成于该场区的一表面中并延伸进入该场区。
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