[发明专利]基板检查方法

摘要

本发明提供不会降低检查精度而缩短检查时间提高检查效率的基板检查方法。在依次执行的各单位检查工序(1～4)中，将互不相同的任意1个布线图案(A～D)设定为正极侧、其他的布线图案(A～D)设定为负极侧，对该正负的布线图案(A～D)间赋予电位差，根据流过布线图案与输出部之间的电流值检查正负的布线图案(A～D)间的电气特性。在各单位检查工序(1～4)中，利用第1特性检测部对负极侧的布线图案(A～D)中的未被设定过正极侧的布线图案(A～D)的电流进行检测，利用第2特性检测部对已被设定过正极侧的布线图案(A～D)的电流进行检测。第2特性检测部进行的电流检测，在比第1特性检测部进行的电流检测提前的时间进行。

主权项

一种基板检查方法，其是对设置在被检查基板上的多个布线图案的电气特性进行检查的方法，其特征在于，在该基板检查方法中，使用与设置在所述被检查基板上的所述多个布线图案导通的多个探针、借助所述探针对所述布线图案间赋予电位差的输出部、和检测流过所述输出部和所述布线图案之间的电流的第1及第2特性检测部，所述基板检查方法具有被依次执行的多个单位检查工序，在所述各单位检查工序中，将在所述多个布线图案中的且在所述单位检查工序彼此间互不相同的任意1个布线图案设定为正极侧，并且将所述1个布线图案以外的布线图案设定为负极侧，在此状态下，利用所述输出部并借助所述探针，对正极侧的所述布线图案和负极侧的所述布线图案之间赋予电位差，所述单位检查工序具有第1副工序和第2副工序，在该第1副工序中，在第1检测时间，利用所述第1特性检测部，对流过布线图案与所述输出部之间的电流进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极侧的所述布线图案中的、在之前的所述单位检查工序中未被设定过正极侧的布线图案，并根据该检测结果，对被设定为正极侧的所述布线图案、与被设定为负极侧的所述布线图案中的未被设定过正极侧的所述布线图案之间的第1电气特性进行检查，在该第2副工序中，在比所述第1检测时间提前的第2检测时间，利用所述第2特性检测部，对流过布线图案与所述输出部之间的电流进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极侧的所述布线图案中的、在之前的所述单位检查工序已被设定过正极侧的布线图案，并根据该检测结果，对被设定为正极侧的所述布线图案、与被设定为负极侧的所述布线图案中的已被设定过正极侧的所述布线图案之间的所述第1电气特性进行检查。