[发明专利]基板检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及检查设置在被检查基板上的多个布线图案的电气特性的基板检查方法。

背景技术

作为这种现有技术，存在下述这样的技术，即，将多个布线图案中的任一个布线图案设定为正极侧，并且将余下的布线图案设定为负极侧，利用输出部对布线图案间赋予电位差，进而检测在布线图案和输出部之间流过的电流，并根据检测出的电流值判定布线图案间的绝缘性的优良与否。依次更换被设定为正极侧的布线图案，由此对全部布线图案彼此间的组合进行绝缘性的检查。

作为相关的现有技术文献，有专利文献1、2。

【专利文献1】日本特开昭52-155364号公报

【专利文献2】日本特开2000-193702号公报

然而，在上述的检查方法中，由于对全部布线图案彼此间的组合进行绝缘性的检查，故尽管能够以高信赖性进行检查，但反而却存在检查耗时，检查效率较低的问题。

发明内容

因此，本发明要解决的课题在于提供一种不会降低检查精度，而缩短检查时间提高检查效率的基板检查方法。

为了解决上述课题，技术方案1的发明中，提供一种基板检查方法，其是对设置在被检查基板上的多个布线图案的电气特性进行检查的方法，在该基板检查方法中，使用与设置在上述被检查基板上的上述多个布线图案导通的多个探针、借助上述探针对上述布线图案间赋予电位差的输出部、和检测流过上述输出部和上述布线图案之间的电流的第1及第2特性检测部，上述基板检查方法具有被依次执行的多个单位检查工序，在上述各单位检查工序中，将在上述多个布线图案中的且在上述单位检查工序彼此间互不相同的任意1个布线图案设定为正极侧，并且将上述1个布线图案以外的布线图案设定为负极侧，在此状态下，利用上述输出部并借助上述探针，对正极侧的上述布线图案和负极侧的上述布线图案之间赋予电位差，上述单位检查工序具有第1副工序和第2副工序，在该第1副工序中，在第1检测时间，利用上述第1特性检测部，对流过布线图案与上述输出部之间的电流进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极侧的上述布线图案中的、在之前的上述单位检查工序中未被设定过正极侧的布线图案，并根据该检测结果，对被设定为正极侧的上述布线图案、与被设定为负极侧的上述布线图案中的未被设定过正极侧的上述布线图案之间的第1电气特性进行检查，在该第2副工序中，在比上述第1检测时间提前的第2检测时间，利用上述第2特性检测部，对流过布线图案与上述输出部之间的电流进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极侧的上述布线图案中的在之前的上述单位检查工序已被设定过正极侧的上述布线图案，并根据该检测结果，对被设定为正极侧的上述布线图案、与被设定为负极侧的上述布线图案中的已被设定过正极侧的上述布线图案之间的上述第1电气特性进行检查。

另外，技术方案2的发明中，在技术方案1的发明所涉及的基板检查方法的基础上，在上述多个单位检查工序之中的最初执行的最先单位检查工序和最后执行的最终单位检查工序之间所执行的各中间单位检查工序，具备上述第1副检查工序和上述第2副检查工序，上述最先单位检查工序具备上述第1副工序，上述最终单位检查工序具备上述第2副工序。

另外，技术方案3的发明中，在技术方案1或技术方案2的发明所涉及的基板检查方法的基础上，还使用有借助上述探针对上述布线图案间的电位差进行检测的电位差检测部，上述各单位检查工序还具有第3副工序，在该第3副工序中，当利用上述输出部对被设定为正极侧的上述布线图案与被设定为负极侧的上述布线图案之间赋予电位差时，根据利用上述电位差检测部检测出的正极侧的上述布线图案与负极侧的上述布线图案之间的电位差随时间的变化情况，对正极侧的上述布线图案与负极侧的上述布线图案之间的第2电气特性进行检查。

另外，技术方案4的发明中，在技术方案3的发明所涉及的基板检查方法的基础上，在上述第3副工序中，根据利用上述电位差检测部检测出的上述电位差在上升过程中是否有暂时下降的情况，对上述第2电气特性进行检查。

另外，技术方案5的发明中，在技术方案1至技术方案4中任一发明所涉及的基板检查方法的基础上，从面积更大的上述布线图案被设定为正极侧的单位检查工序起依次执行上述多个单位检查工序。