[发明专利]基板检查方法

权利要求书

1.一种基板检查方法，其是对设置在被检查基板上的多个布线图案的电气特性进行检查的方法，其特征在于，

在该基板检查方法中，使用与设置在所述被检查基板上的所述多个布线图案导通的多个探针、借助所述探针对所述布线图案间赋予电位差的输出部、和检测流过所述输出部和所述布线图案之间的电流的第1及第2特性检测部，

所述基板检查方法具有被依次执行的多个单位检查工序，在所述各单位检查工序中，将在所述多个布线图案中的且在所述单位检查工序彼此间互不相同的任意1个布线图案设定为正极侧，并且将所述1个布线图案以外的布线图案设定为负极侧，在此状态下，利用所述输出部并借助所述探针，对正极侧的所述布线图案和负极侧的所述布线图案之间赋予电位差，

所述单位检查工序具有第1副工序和第2副工序，

在该第1副工序中，在第1检测时间，利用所述第1特性检测部，对流过布线图案与所述输出部之间的电流进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极侧的所述布线图案中的、在之前的所述单位检查工序中未被设定过正极侧的布线图案，并根据该检测结果，对被设定为正极侧的所述布线图案、与被设定为负极侧的所述布线图案中的未被设定过正极侧的所述布线图案之间的第1电气特性进行检查，

在该第2副工序中，在比所述第1检测时间提前的第2检测时间，利用所述第2特性检测部，对流过布线图案与所述输出部之间的电流进行检测，其中，该布线图案是指在执行中的该单位检查工序中被设定为负极侧的所述布线图案中的、在之前的所述单位检查工序已被设定过正极侧的布线图案，并根据该检测结果，对被设定为正极侧的所述布线图案、与被设定为负极侧的所述布线图案中的已被设定过正极侧的所述布线图案之间的所述第1电气特性进行检查。

2.根据权利要求1所述的基板检查方法，其特征在于，

在所述多个单位检查工序之中的最初执行的最先单位检查工序和最后执行的最终单位检查工序之间所执行的各中间单位检查工序，具备所述第1副检查工序和所述第2副检查工序，

所述最先单位检查工序具备所述第1副工序，

所述最终单位检查工序具备所述第2副工序。

3.根据权利要求1或2所述的基板检查方法，其特征在于，

还使用借助所述探针对所述布线图案间的电位差进行检测的电位差检测部，

所述各单位检查工序还具有第3副工序，

在该第3副工序中，当利用所述输出部对被设定为正极侧的所述布线图案与被设定为负极侧的所述布线图案之间赋予电位差时，根据利用所述电位差检测部检测出的正极侧的所述布线图案与负极侧的所述布线图案之间的电位差随时间的变化情况，对正极侧的所述布线图案与负极侧的所述布线图案之间的第2电气特性进行检查。

4.根据权利要求3所述的基板检查方法，其特征在于，

在所述第3副工序中，根据利用所述电位差检测部检测出的所述电位差在上升过程中是否有暂时下降的情况，对所述第2电气特性进行检查。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板检查方法，其特征在于，

从面积更大的所述布线图案被设定为正极侧的单位检查工序起依次执行所述多个单位检查工序。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的基板检查方法，其特征在于，

所述多个单位检查工序，根据在该各单位检查工序被设定为正极侧的所述布线图案的面积的不同而被分为多个工序组，

从属于被设定为正极侧的所述布线图案的面积更大的工序组的单位检查工序起依次执行所述多个单位检查工序。

7.根据权利要求5所述的基板检查方法，其特征在于，

所述各单位检查工序中的由所述输出部开始赋予所述电位差起到所述第1副工序中的所述第1检测时间为止的时间，随着1个所述单位检查工序的结束而逐渐缩短。

8.根据权利要求6所述的基板检查方法，其特征在于，

所述各单位检查工序中的由所述输出部开始赋予所述电位差起到所述第1副工序中的所述第1检测时间为止的时间，随着属于1个所述工序组的全部的所述单位检查工序的结束而逐渐缩短。