[发明专利]压电驱动器以及压电驱动器的制造方法

摘要

压电驱动器具备支撑基板、具有第1压电层叠体、第2压电层叠体以及位移部的主体部、第1弹性体层；第1弹性体层以连接第1压电层叠体的下面、第2压电层叠体的下面、第1压电层叠体的侧面、第2压电层叠体的侧面的方式被固定于主体部；第1弹性体层的第1～第4区域由第1～第4结合部而被固定于支撑基板的主面；非结合面未被固定于支撑基板(3)的主面。

主权项

一种压电驱动器，其特征在于：具备，支撑基板；主体部，其具有第1压电层叠体、第2压电层叠体和位移部，所述第1压电层叠体包含第1上部电极层、第1下部电极层以及介于这两个电极层之间的第1压电体层，所述第2压电层叠体包含第2上部电极层、第2下部电极层以及介于这两个电极层之间的第2压电体层，所述位移部可相对于所述支撑基板发生位移；以及第1弹性体层，所述主体部被设置于所述支撑基板的主面的上方，所述第1压电层叠体将与所述支撑基板的所述主面相交叉的方向作为层叠方向，并沿着与所述支撑基板的所述主面相平行的面内的第1假想线延伸，所述第2压电层叠体将与所述支撑基板的所述主面相交叉的方向作为层叠方向，并沿着与所述支撑基板的所述主面相平行的面内的第2假想线延伸，并且与所述第1压电层叠体相分离，所述位移部被固定于所述第1压电层叠体的前端部与所述第2压电层叠体的前端部之间，所述第1弹性体层以连接所述第1压电层叠体的与所述支撑基板相对的下面、所述第2压电层叠体的与所述支撑基板相对的下面、所述第1压电层叠体的侧面的至少一部分以及所述第2压电层叠体的侧面的至少一部分的方式，被固定于所述主体部，所述第1弹性体层中被设置于所述第1压电层叠体的基端部的下面的第1区域由第1结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，所述第1弹性体层中被设置于所述第2压电层叠体的基端部的下面的第2区域由第2结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，所述第1弹性体层中被设置于所述第1压电层叠体的侧面的第3区域的至少一部分由第3结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，所述第1弹性体层中被设置于所述第2压电层叠体的侧面的第4区域的至少一部分由第4结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，所述第1弹性体层的与所述支撑基板相对的下面中除了与所述第1结合部、所述第2结合部、所述第3结合部以及所述第4结合部相接触的面以外的非结合面未被固定于所述支撑基板的所述主面，或者由弹性率较所述第1结合部、所述第2结合部、所述第3结合部以及所述第4结合部低的构件而被固定于所述支撑基板的所述主面。