[发明专利]压电驱动器以及压电驱动器的制造方法

权利要求书

1.一种压电驱动器，其特征在于：

具备，

支撑基板；

主体部，其具有第1压电层叠体、第2压电层叠体和位移部，所述第1压电层叠体包含第1上部电极层、第1下部电极层以及介于这两个电极层之间的第1压电体层，所述第2压电层叠体包含第2上部电极层、第2下部电极层以及介于这两个电极层之间的第2压电体层，所述位移部可相对于所述支撑基板发生位移；以及

第1弹性体层，

所述主体部被设置于所述支撑基板的主面的上方，

所述第1压电层叠体将与所述支撑基板的所述主面相交叉的方向作为层叠方向，并沿着与所述支撑基板的所述主面相平行的面内的第1假想线延伸，

所述第2压电层叠体将与所述支撑基板的所述主面相交叉的方向作为层叠方向，并沿着与所述支撑基板的所述主面相平行的面内的第2假想线延伸，并且与所述第1压电层叠体相分离，

所述位移部被固定于所述第1压电层叠体的前端部与所述第2压电层叠体的前端部之间，

所述第1弹性体层以连接所述第1压电层叠体的与所述支撑基板相对的下面、所述第2压电层叠体的与所述支撑基板相对的下面、所述第1压电层叠体的侧面的至少一部分以及所述第2压电层叠体的侧面的至少一部分的方式，被固定于所述主体部，

所述第1弹性体层中被设置于所述第1压电层叠体的基端部的下面的第1区域由第1结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，

所述第1弹性体层中被设置于所述第2压电层叠体的基端部的下面的第2区域由第2结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，

所述第1弹性体层中被设置于所述第1压电层叠体的侧面的第3区域的至少一部分由第3结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，

所述第1弹性体层中被设置于所述第2压电层叠体的侧面的第4区域的至少一部分由第4结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，

所述第1弹性体层的与所述支撑基板相对的下面中除了与所述第1结合部、所述第2结合部、所述第3结合部以及所述第4结合部相接触的面以外的非结合面未被固定于所述支撑基板的所述主面，或者由弹性率较所述第1结合部、所述第2结合部、所述第3结合部以及所述第4结合部低的构件而被固定于所述支撑基板的所述主面。

2.如权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于：

在所述非结合面与所述支撑基板的所述主面之间，形成有与所述非结合面相接触的空间缝隙。

3.如权利要求1或者2所述的压电驱动器，其特征在于：

还具有第2弹性体层，该第2弹性体层以将所述第1弹性体层的上面中的所述第1结合部、所述第2结合部、所述第3结合部以及所述第4结合部的上方的区域，与所述第1压电层叠体的上面以及所述第2压电层叠体的上面连接的方式被固定于主体部。

4.如权利要求3所述的压电驱动器，其特征在于：

所述第1弹性体层由树脂构成，

所述第2弹性体层由树脂构成。

5.如权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于：

在与所述支撑基板的所述主面相平行的面内，所述第1假想线的至少一部分上的切线随着切点从所述第1假想线的对应于所述第1压电层叠体的基端部的端点侧向对应于所述第1压电层叠体的前端部的端点侧移动，沿着以与所述支撑基板的所述主面相交叉的方向作为旋转轴的旋转方向进行旋转，

在与所述支撑基板的所述主面相平行的面内，所述第2假想线的至少一部分上的切线随着切点从所述第2假想线的对应于所述第2压电层叠体的基端部的端点侧向对应于所述第2压电层叠体的前端部的端点侧移动，沿着以与所述支撑基板的所述主面相交叉的方向作为旋转轴的旋转方向进行旋转。

6.如权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于：

所述第1压电层叠体以及所述第2压电层叠体，在该第1压电层叠体沿着所述第1假想线进行延伸同时所述第2压电层叠体沿着所述第2假想线进行延伸之际，以沿着以与所述支撑基板的所述主面相交叉的方向作为旋转轴的第1旋转方向使所述位移部旋转的方式，分别被固定于所述位移部。