[发明专利]压电驱动器以及压电驱动器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及压电驱动器以及压电驱动器的制造方法。

背景技术

在日本特开2002-134807号公报中记载有被使用于磁盘装置的磁头支撑机构。该磁头支撑机构具备拥有作为位移体的薄膜压电体元件(压电层叠体)的压电驱动器。通过由该压电驱动器来使磁头支撑机构的被固定于滑块保持基板的磁头发生微小位移，从而相对于磁盘可以高精度地定位磁头。

另外，在日本特开平4-313286号公报中记载有陶瓷驱动器(压电驱动器)。该陶瓷驱动器具备分别作为悬臂梁结构的作为配置于同一面上的位移体的一对压电双晶片(bimorph)(压电层叠体)、以及嵌合于一对压电双晶片的各自的前端部的连结体。由该一对压电双晶片，可以使连结体发生位移。

在日本特开2002-134807号公报所记载的压电驱动器中，作为位移体的薄膜压电体元件被粘结固定于作为为了使作为位移对象的磁头滑块为规定的状态而构成的构件的弯曲部分(flexure)。固定有作为位移对象的磁头滑块的滑块支撑板经由铰链部而被连接于弯曲部分。由此，将薄膜压电体元件的直线位移转换成以铰链部作为旋转中心的滑块支撑板的旋转位移。利用具有这样的压电驱动器以及弯曲部分的悬挂结构，可实现高精度的磁头定位。

然而，在日本特开2002-134807号公报所记载的压电驱动器中，薄膜压电体元件的位移经由多个传递结构而被传递到控制对象的磁头滑块。因此，在这样的压电驱动器中，驱动器整体的结构变得复杂，因而存在位移的传递效率降低且起因于这些传递结构的传递材料的特性以及尺寸的偏差而在控制对象的磁头滑块位移量上产生偏差的问题。

关于这一点，在日本特开平4-313286号公报所记载的压电驱动器中，作为位移体的一对压电双晶片作为悬臂梁结构而被支撑于基板，一对压电双晶片中除了固定于基板的部分之外的区域没有与阻碍位移的构件接触。即一对压电双晶片中除了固定于基板的基端部分之外，成为从基板分离的状态。而且，将一对压电双晶片直接固定于作为位移对象的连结体上。因此，压电驱动器的结构变得简单，且位移的传递效率变高。

如日本特开平4-313286号公报所记载的压电驱动器那样，作为位移体的压电层叠体作为悬臂梁结构而被支撑于基板，在该压电驱动器中，为了增大位移对象的位移量，有必要将压电层叠体制成较长的结构并增加从被支撑于压电层叠体的基板的基端部分直到位移体为止的长度。然而，在具有压电层叠体的一部分从基板分离的结构的压电驱动器中，如果如以上所述增加压电层叠体的长度，那么因为由基板得到的压电层叠体的支撑变得不够充分，所以压电层叠体发生与逆压电效应没有关系的位移和压电层叠体以没有预期到的方式发生位移等，由于这些原因，难以使位移对象发生精密的位移难。因此，存在难以同时实现增大位移对象的位移量和使位移对象发生精密的位移这两者的问题。

发明内容

本发明有鉴于如上述那样的问题，以提供一种可以使结构简单且位移的传递效率高，同时可以增大位移对象的位移量并使位移对象发生精密的位移的压电驱动器、以及这样的压电驱动器的制造方法为目的。