[发明专利]晶片清洁装置有效
| 申请号： | 201010195939.X | 申请日： | 2010-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101884981A | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 袁立伟;王仲康;衣忠波 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 065201 河北省三河市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶片清洁装置，涉及半导体专用设备晶片清洁装置技术领域。驱动电机通过安装座安装在缸体装置的活塞杆上，驱动电机的轴线和活塞杆运动方向平行，电机轴和转轴连接，转轴的端部通过弹性支架与毛刷连接。本发明能有效解决现有技术中存在的问题，不仅可使毛刷与晶片柔性接触，有效防止损伤晶片，可大大提高清洁质量和效率，可靠性和稳定性较高，而且具有结构简单紧凑、使用方便、寿命长的特点。尤其适用于半导体专用设备上。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种晶片清洁装置，包括驱动电机(1)，其特征在于驱动电机(1)通过安装座(2)安装在缸体装置(14)的活塞杆上，驱动电机(1)的轴线和活塞杆的运动方向相平行，电机轴和转轴(4)连接，转轴(4)的端部通过弹性支架与毛刷(13)连接。
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