[发明专利]晶片清洁装置有效
| 申请号： | 201010195939.X | 申请日： | 2010-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101884981A | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 袁立伟;王仲康;衣忠波 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 065201 河北省三河市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 清洁 装置 | ||
1.一种晶片清洁装置，包括驱动电机(1)，其特征在于驱动电机(1)通过安装座(2)安装在缸体装置(14)的活塞杆上，驱动电机(1)的轴线和活塞杆的运动方向相平行，电机轴和转轴(4)连接，转轴(4)的端部通过弹性支架与毛刷(13)连接。
2.根据权利要求1所述的晶片清洁装置，其特征在于所述的弹性支架的结构及连接关系为：下圆片(10)通过防松螺帽(11)固定在转轴(4)的端部，弹性支板(12)的上端与下圆片(10)固定联接，下端与毛刷(13)联接。
3.根据权利要求1所述的晶片清洁装置，其特征在于所述的缸体装置(14)为气缸装置
4.根据权利要求1、2或3所述的晶片清洁装置，其特征在于所述的转轴(4)最上端通过联轴器(3)与驱动电机(1)固定在安装座(2)上端的圆孔内，转轴(4)为阶梯轴，通过两个角接触球轴承(6)安装在在轴承套(7)中，轴承压盖(8)和螺钉压紧轴承外圈并与轴承套(7)固定连接，轴承螺帽(9)通过转轴(4)上的螺纹压紧轴承内圈。
5.根据权利要求4所述的晶片清洁装置，其特征在于所述的两个角接触球轴承(6)之间安装有内外圈轴套，角接触球轴承(6)与轴承螺帽(9)之间安装有内圈轴套
6.根据权利要求4所述的晶片清洁装置，其特征在于所述的转轴(4)与轴承套(7)之间，轴承压盖(8)与轴承螺帽(9)之间均设有径向迷宫密封。
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