[发明专利]缺陷修正装置及缺陷修正方法

摘要

一种缺陷修正装置，该装置显著提高缺陷修正工序的作业效率，同时提高缺陷修正的品质。检查形成有重复构图的多层基板，提取重复构图内的缺陷的位置信息及所述缺陷的特征信息。接着，从数据库读取对应检测到的缺陷的缺陷修正手法。然后，使读取的缺陷修正手法所含有的对象物尺寸与修正实施顺序相对该缺陷修正装置进行最优化。并且，利用尺寸与适用顺序进行最优化的缺陷修正手法来控制用于实施缺陷修正的缺陷修正部。

主权项

一种缺陷修正装置，包括：缺陷检测部，其用于检查形成有重复构图的多层基板，提取所述重复构图内的缺陷的位置信息及所述缺陷的特征信息；数据库，其登录有多个缺陷修正手法；缺陷修正部，其利用指定的缺陷修正手法来修正所述多层基板的缺陷；以及控制部，其从所述数据库读取对应由所述缺陷检测部所检测到的缺陷的缺陷修正手法，使读取的缺陷修正手法所含有的对象物尺寸与修正实施顺序相对该缺陷修正装置进行最优化，利用该缺陷修正手法来控制用于实施所述缺陷修正的所述缺陷修正部。