[发明专利]一种垂直结构发光二极管及其制造方法无效
| 申请号： | 201010166478.3 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102237456A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 齐继航 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518118 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种垂直结构发光二极管及其制造方法，属于发光二极管领域，该垂直结构发光二极管包括：导电衬底；第一导电电极，位于所述导电衬底上；电流扩散层，位于所述第一导电电极上；发光外延结构，位于所述电流扩散层上；蓝宝石衬底，位于所述发光外延结构上，所述蓝宝石衬底出光侧表面为粗糙面，厚度为2～15um，粗糙度为10～500nm；至少一个第二导电电极，位于所述蓝宝石衬底侧并穿过蓝宝石衬底与所述发光外延结构连接。本发明还提供了一种垂直结构发光二极管的制造方法，解决了现有垂直结构发光二极管出光率低、散热效果较差、产品使用寿命较短的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 结构 发光二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种垂直结构发光二极管制造方法，包括：(1)、在蓝宝石衬底上形成发光外延结构；(2)、在发光外延结构上形成电流扩散层；(3)、在电流扩散层上形成第一导电电极；(4)、将做好第一导电电极的发光外延结构形成在另一导电衬底上，构成倒装结构，保证蓝宝石衬底朝上；其特征在于：该方法还包括：(5)、将蓝宝石衬底减薄至指定厚度及指定粗糙度；(6)、对上述减薄后的蓝宝石衬底进行光刻处理，得到电极结构图案，并将带电极结构图案的蓝宝石衬底剥离，露出部分发光外延结构；(7)、在露出的发光外延结构上形成第二导电电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于比亚迪股份有限公司，未经比亚迪股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010166478.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于蓝牙传输的电子听诊器
- 下一篇：用于人体胃肠动力检测的无线记录装置
