[发明专利]被覆微粒子及被覆微粒子的制造方法无效
申请号: | 201010166471.1 | 申请日: | 2003-12-18 |
公开(公告)号: | CN101857948A | 公开(公告)日: | 2010-10-13 |
发明(设计)人: | 阿部孝之;渡边国昭;本多祐二 | 申请(专利权)人: | 友技科株式会社;阿部孝之 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/34;B01J13/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种被覆微粒子,通过使内部断面形状具有多边形的真空容器以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转,搅拌或者旋转该真空容器内的粒径为5μm以下的微粒子,同时进行溅射,从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜,上述微粒子由金属材料、无机材料及碳素材料中的任一种材料构成,上述超微粒子或薄膜由无机材料、金属材料、合金材料及碳素材料中的任一种材料构成。 | ||
搜索关键词: | 被覆 微粒子 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种被覆微粒子,其特征在于,通过使内部断面形状具有多边形的真空容器以相对于上述断面大致垂直的方向作为旋转轴旋转,搅拌或者旋转该真空容器内的粒径为5μm以下的微粒子,同时进行溅射,从而在该微粒子的表面上被覆粒径比该微粒子小的超微粒子或者薄膜,上述微粒子由金属材料、无机材料及碳素材料中的任一种材料构成,上述超微粒子或薄膜由无机材料、金属材料、合金材料及碳素材料中的任一种材料构成。
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