[发明专利]工作台清扫器、描绘装置以及基板处理装置无效
| 申请号： | 201010112950.5 | 申请日： | 2010-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN101799631A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 樋渡忠夫 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了工作台清扫器、描绘装置以及基板处理装置。本发明的工作台清扫器通过向工作台清扫器的具有贯通孔(11)的板(12)和工作台(10)之间送入气体，将板(12)和工作台(10)之间的间隙保持恒定，通过使板(12)在该状态下移动，利用板(12)的端部去除工作台(10)上的异物(13)。该工作台清扫器可设置在例如描绘装置等上来使用。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 清扫 描绘 装置 以及 处理 | ||
【主权项】：
一种工作台清扫器，该工作台清扫器具有板状部件和送风单元，并去除工作台表面上的异物，所述板状部件具有至少一个贯通孔，所述送风单元将气体经由所述贯通孔从所述板状部件的一面侧送入到另一面侧，在使所述工作台表面与所述另一面对置、且利用所述送风单元进行了送风的状态下，将所述板状部件配置成使所述另一面与所述工作台表面隔开预定间隔，使所述板状部件在与所述工作台表面平行的面内移动，通过所述板状部件的端部挤出所述工作台表面上的异物，从而将其去除。
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