[发明专利]工作台清扫器、描绘装置以及基板处理装置无效
申请号: | 201010112950.5 | 申请日: | 2010-02-03 |
公开(公告)号: | CN101799631A | 公开(公告)日: | 2010-08-11 |
发明(设计)人: | 樋渡忠夫 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工作台 清扫 描绘 装置 以及 处理 | ||
1.一种工作台清扫器,该工作台清扫器具有板状部件和送风单元, 并去除工作台表面上的异物,所述板状部件具有至少一个贯通孔,所述 送风单元将气体经由所述贯通孔从所述板状部件的一面侧送入到另一面 侧,
在使所述工作台表面与所述另一面对置、且利用所述送风单元进行 了送风的状态下,将所述板状部件配置成使所述另一面与所述工作台表 面隔开预定间隔,使所述板状部件在与所述工作台表面平行的面内移动, 通过所述板状部件的端部挤出所述工作台表面上的异物,从而将其去除。
2.根据权利要求1所述的工作台清扫器,所述工作台清扫器还具有 送风调节单元,该送风调节单元对从所述送风单元送入的气体的送风量 进行调整,利用所述送风调节单元调节所述送风量,由此来调节所述预 定间隔的大小。
3.根据权利要求1或2所述的工作台清扫器,其中,所述贯通孔形 成在所述板状部件的中心。
4.根据权利要求1或2所述的工作台清扫器,其中,在距所述板状 部件的中心等距离的位置形成有多个所述贯通孔。
5.一种工作台清扫器,该工作台清扫器具有板状部件、送风单元以 及吸气单元,所述板状部件具有至少一个第1贯通孔和至少一个第2贯 通孔,所述送风单元将气体经由所述第1贯通孔从所述板状部件的一面 侧送入到另一面侧,所述吸气单元将气体经由所述第2贯通孔从所述板 状部件的所述另一面侧吸出到所述一面侧,
在使所述工作台表面与所述另一面对置、利用所述送风单元进行了 送风且利用所述吸气单元进行了吸气的状态下,将所述板状部件配置成 使所述另一面与所述工作台表面隔开预定间隔,使所述板状部件在与所 述工作台表面平行的面内移动,通过所述板状部件的端部挤出所述工作 台表面上的异物,从而将其去除。
6.根据权利要求5所述的工作台清扫器,所述工作台清扫器还具有 调节单元,该调节单元对从所述送风单元送入的气体的送风量、或者由 所述吸气单元吸出的气体的吸气量的至少一方进行调整,利用所述调节 单元调节所述送风量或所述吸气量的至少一方,由此来调节所述预定间 隔的大小。
7.根据权利要求5或6所述的工作台清扫器,其中,所述第1贯通 孔或所述第2贯通孔的任一方形成在所述板状部件的中心。
8.根据权利要求5或6所述的工作台清扫器,其中,在距所述板状 部件的中心等距离的位置形成有多个所述第1贯通孔或所述第2贯通孔。
9.根据权利要求5至6中的任一项所述的工作台清扫器,其中,所 述板状部件还具有用于吸出异物的第3贯通孔。
10.根据权利要求1或5所述的工作台清扫器,其中,所述板状部 件的端部的至少一方具有凹成弯曲状的部分。
11.一种描绘装置,该描绘装置具有权利要求1或5所述的工作台 清扫器,所述工作台清扫器能在所述描绘装置的工作台表面的垂直方向 上移动。
12.一种基板处理装置,该基板处理装置将基板放置在工作台上, 并在该状态下对基板实施处理,
所述基板处理装置具有去除所述工作台上的异物的工作台清扫器,
所述工作台清扫器具有:
清扫板,其具有与工作台的基板放置面对置的平滑的平面;
浮起机构,其使所述清扫板在所述工作台上浮起到预定高度;以及
驱动机构,其使所述清扫板在与所述工作台的基板放置面平行的面 内移动。
13.根据权利要求12所述的基板处理装置,其中,所述浮起机构控 制成使所述清扫板在所述工作台上以1~500μm的高度浮起。
14.根据权利要求12或13所述的基板处理装置,其中,所述清扫 板是平板状,其下表面侧的端部以90°以下的角度形成为直角或锐角。
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