[发明专利]衬底固持单元和具有其的衬底组装设备

摘要

根据实施例的一种衬底固持单元包含粘接模块。所述粘接模块包含：主体部分；粘接卡盘，其安装到所述主体部分上用于固持并固定衬底；第一分离层，其安置在所述粘接卡盘内侧处用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离；以及第二分离层，其安置在所述粘接卡盘外侧处用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离。根据实施例，将分离层分别安置在所述粘接卡盘的内侧和外侧上。因此，在将衬底与所述粘接卡盘分离时，通过所述多个分离层使施加到所述衬底上的力最小化，以便防止所述衬底的未对准或损坏。而且，提供具有所述粘接卡盘和所述分离层的多个粘接模块，且根据所述衬底的大小来控制所述多个粘接模块的定位。因此，不管所述衬底的大小都可易于实现对衬底的固持。

主权项

一种衬底固持单元，其包括粘接模块，所述粘接模块包括：主体部分；粘接卡盘，其安装到所述主体部分，用于固持并固定衬底；第一分离层，其安置在所述粘接卡盘内侧处，用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离；以及第二分离层，其安置在所述粘接卡盘外侧处，用于将所述衬底与所述粘接卡盘分离。