[发明专利]锗烷纯化无效
| 申请号： | 200980154667.4 | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102282107A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 加里·D·米勒 | 申请（专利权）人： | 伏太斯公司 |
| 主分类号： | C01G17/00 | 分类号： | C01G17/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李新红 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于纯化含有磷化氢的锗烷，以提供纯化的锗烷产品的方法和系统。本发明的一方面是制备含有低于50ppb磷化氢的纯化的锗烷产品的方法，其包括提供磷化氢污染的锗烷气体和氢气的混合物；使锗烷气体氢气混合物通过选择性吸附磷化氢的吸附剂，以及产生纯化的锗烷气体和氢气的混合物；以及从氢气锗烷气体混合物中分离纯化的锗烷气体。 | ||
| 搜索关键词： | 纯化 | ||
【主权项】：
一种制备纯化的锗烷产品的方法，包括：提供含有磷化氢的锗烷气体；使该含有磷化氢的锗烷气体通过吸附剂，其选择性吸附含有的磷化氢，以产生纯化的锗烷气体。
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