[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号: | 200980153486.X | 申请日: | 2009-12-04 |
| 公开(公告)号: | CN102271857A | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
| 发明(设计)人: | 福满宪志;大石真吾;青岛绅一郎 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号: | B23K26/04 | 分类号: | B23K26/04;B23K26/03;B23K26/06;B23K26/073;B23K26/08 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散,在X轴方向(即ZX平面内)上不发散且不收束。而且,物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点P1,在X轴方向上收束在点P2。进一步,一对刀缘(13)在Y轴方向上调节入射至物镜(5)的激光(L1)的发散角θ。由此,激光(L1)的剖面形状,在点P2成为在Y轴方向上延伸的长条形状,Y轴方向的最大长度被调节。因此,通过使点P2位于加工对象物(S)的表面,可以将在Y轴方向上延伸所期望的长度的长条形状的加工区域形成于加工对象物(S)的表面。 | ||
| 搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
一种激光加工装置,其特征在于,具备:激光光源,射出激光;支撑台,支撑加工对象物;第1光学系统,具有使平行光在与光轴垂直的规定的方向上发散或收束的功能,使从所述激光光源射出的所述激光在所述规定的方向上发散或收束;第2光学系统,具有使平行光收束在光轴上的一点的功能,使从所述第1光学系统射出的所述激光在与光轴垂直的第1方向上收束在第1点,使从所述第1光学系统射出的所述激光在与光轴以及所述第1方向垂直的第2方向上收束在第2点;调节机构,至少在第1方向上调节入射至所述第2光学系统的所述激光的发散角或收束角;以及移动机构,以至少所述第2点位于所述加工对象物的外表面或内部的方式,使所述支撑台相对于所述第2光学系统沿着光轴相对地移动。
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